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等离子体浸泡式离子注入与沉积技术
汤宝寅,王浪平编著2012 年出版239 页ISBN:9787118078923本书介绍了用于材料表面改性的等离子体浸泡式离子注入与沉积(PIIID)技术。主要内容包括PIIID技术发展概况、基础理论、PIIID设备关键部件设计、PIIID鞘层动力学计算机理论数值模拟与应用以及机械零件的PIIID...
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