激光等离子体极紫外光刻光源

本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...

等离子体光子晶体理论

本书的内容主要涵盖算法研究、理论研究和器件设计这三部分内容。改进了传统光子晶体计算方法的不足，使得改进后的算法能够便捷地对等离子体光子晶体进行计算。提出了几种基于一维等离子体光子晶体的全向反射...

等离子体流动控制与辅助燃烧

介绍了等离子体流动控制和助燃的概念、历史、应用领域、研究方法。重点阐述了表面介质阻挡放电流体力学仿真的模型、计算方法及其与空气动力学仿真的松耦合计算方法，利用该方法研究了等离子体的单向体积力、...

大气压放电等离子体核心关键技术及应用前景 新观点新学说学术沙龙文集 66

专家们围绕大气压放电等离子体产生、控制技术及应用方面的问题，充分交流各自的科研成果，并就当前该领域的一些热点问题，包括等离子体流动控制技术、等离子体推进技术、等离子体射流研究、均匀介质阻挡放电研究...

激光等离子体推进技术

本书共分为四章。第一章内容围绕激光等离子体推进的研究进展、与物质相互作用机理及等离子体微推进展开，其中对于高峰值功率下激光能量的各种吸收机制进行了探讨和总结。对等离子体推进技术的原理、工作模式...

电感耦合等离子体原子发射光谱分析进样技术

本书是介绍电感耦合等离子体原子发射光谱（Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry，ICP-AES）的基本原理，仪器结构和进样技术及其应用的专业基础读物。在简单介绍光谱分析历史、现代等离子体光...

参加“中国光学学会”成立大会文论文 观测的辐射率到等离子体发射的径向分布的变换-ABEL变换的一种解法

高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...

大气压低温等离子体技术及应用

本书主要阐述等离子体的基础理论及大气压低温等离子体在低碳烷烃转化、二氧化钛光催化剂、负载型金属催化剂制备中的应用。全书分为四部分，共九章。第一部分（第1、2章）为基础部分，主要介绍等离子体基础和等离子...

微波诱导等离子体原子光谱分析

微波诱导等离子体（MWP）原子光谱是近十年发展起来的一种很有前途的实验室分析工具。本书全面综合了MWP近期的发展成果，主要包括原理、仪器和微波等离子体光学发射光谱法（MWP—OES）方法论，讨论了各种MWP光源的物理...