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等离子体流动控制与辅助燃烧
车学科等著2018 年出版296 页ISBN:9787030584113介绍了等离子体流动控制和助燃的概念、历史、应用领域、研究方法。重点阐述了表面介质阻挡放电流体力学仿真的模型、计算方法及其与空气动力学仿真的松耦合计算方法,利用该方法研究了等离子体的单向体积力、...
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大气压放电等离子体核心关键技术及应用前景 新观点新学说学术沙龙文集 66
中国科协学会学术部编2013 年出版206 页ISBN:9787504664457专家们围绕大气压放电等离子体产生、控制技术及应用方面的问题,充分交流各自的科研成果,并就当前该领域的一些热点问题,包括等离子体流动控制技术、等离子体推进技术、等离子体射流研究、均匀介质阻挡放电研究...
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激光等离子体推进技术
郑志远著2015 年出版170 页ISBN:9787030442161本书共分为四章。第一章内容围绕激光等离子体推进的研究进展、与物质相互作用机理及等离子体微推进展开,其中对于高峰值功率下激光能量的各种吸收机制进行了探讨和总结。对等离子体推进技术的原理、工作模式...
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN:9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变,深入介绍了该技术的基本机理,在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望;最后以...
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