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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
RebeccaCheu著2010 年出版121 页ISBN：9787030268624碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...
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国外电子与通信教材系列 MEMS与微系统 设计、制造及纳尺度工程 第2版
徐泰然著2017 年出版370 页ISBN：9787121304996作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流...
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动态微机电系统 理论与应用
何广平，赵明，赵全亮等编著2012 年出版384 页ISBN：9787030343161当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...
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微机电系统设计与激光
闻邦椿主编；张义民，鄂中凯，陈良玉，孙志礼，宋锦春，柳洪义，汪恺副主编2015 年出版257 页ISBN：9787111491507本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...
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高动态微系统与MEMS引信技术 下
娄文忠著2016 年出版270 页ISBN：7118108316本书主要内容有：微系统基础介绍；微系统集成及其关键技术；高动态微系统；高动态微系统结构设计体系；微型引信技术及MEMS引信；固态微引信；固态微引信核心器件；引信固态安全与保险控制核心芯片；MEMS固态开关组技术......
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高动态微系统与MEMS引信技术 上
娄文忠著2016 年出版347 页ISBN：7118108316本书主要内容有：微系统基础介绍；微系统集成及其关键技术；高动态微系统；高动态微系统结构设计体系；微型引信技术及MEMS引信；固态微引信；固态微引信核心器件；引信固态安全与保险控制核心芯片；MEMS固态开关组技术......
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