微机电器件设计 制造及计算机辅助设计

本书首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS（包括加速度测量）的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测...

微机电系统基础

相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中...

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...

微机电系统和微结构及其在航天中的应用

本书是由十几位知名教授根据他们在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考...

动态微机电系统 理论与应用

当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...

微机电系统设计与激光

本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...

植物微生态制剂 益微应用技术问答

益微是以芽孢杆菌为主的一类细菌，本书包括“什么是微生态学”、“什么是植物微生态学”、“什么是益微”、“益微有哪些品种”、“益微应用在植物上有哪些功能”、“益微获得何种奖”等115个问题。 ...

微乳化技术及应用

微胶囊技术及其应用

微计算机技术