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电子信息科学与技术导论
黄载禄主编2016 年出版402 页ISBN:9787040452655本书介绍了电子信息科学与技术应用面最广的主要学科领域,包括:电子科学与技术、信息与通信工程、计算机科学与技术、互联网与物联网、自动化与控制科学、微电子学与集成电路、光电信息技术以及网络信息安全等...
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微电子制造科学原理与工程技术
(美)Stephen A. Campbell著;曾莹等译(明尼苏达大学)2003 年出版613 页ISBN:7505383132本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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