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SMART STRUCTURES AND MATERIALS 1999 SMART ELECTRONICS AND MEMS VOLUME 3673
1999 年出版382 页ISBN：0819431478 -
MEMS矢量水听器及其应用
张国军著2017 年出版140 页ISBN：9787030528674本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系...
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基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用
张玉宝，李强主编2007 年出版198 页ISBN：9787502442767本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及其参考文献，图文并茂。概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysics软件中MEMS建立模型的基本过程。...
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MEMS and Nanotechnology-Based Sensors and Devices for Communications
Medical and Aerospace Applications2008 年出版401 页ISBN： -
微机电系统（MEMS）设计 建模、仿真与可视化
卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
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FOUNDATIONS OF MEMS SECOND EDITION
CHANG LIU2011 年出版576 页ISBN：7111358279本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
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基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究
王璐著2013 年出版273 页ISBN：9787811295009本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法，阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法...
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基于MEMS技术的热梯度器件研究
聂金泉著2019 年出版192 页ISBN：9787517072997本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸（宽度和厚度）对温度梯度...