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金刚石薄膜沉积制备工艺与应用
戴达煌，周克崧等编著2001 年出版208 页ISBN：7502427759本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素；同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。...