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微机电系统设计与制造
莫锦秋等编著2004 年出版177 页ISBN：7502552375本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
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微传感器、微机电系统和灵巧器件
加德纳（Gardner，J.W.），瓦拉旦（Varadan，V.K.），韦德尔卡姆（Wadelkarim，O.A.）著2004 年出版505 页ISBN：7302081220微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...
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