微机电系统与微细加工技术

本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...

微机电系统力学

本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...

微机电系统基础 英文版

本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。

微机电系统动力学

本书是有关微机电系统（MEMS）动力学的专著，首次全面介绍MEMS动力学的理论基础与应用，展示当今MEMS动力学研究的最新研究进展，系统论述MEMS动力学相关理论和目前引起人们关注的科学问题，基本涵盖了MEMS及MEMS动力学...

高速公路机电系统新技术及应用

本书以高速公路机电系统为对象，重点介绍高速公路监控系统、通信系统、收费系统、照明系统、供配电系统和隧道机电系统等的新技术、新工艺、新产品及其应用。...

微成形制造技术

本书在阐明微成形理论的基础上对微成形的主要工艺：微冲压成形、微注射成形以及模具、材料和设备的应用和研究情况作了系统介绍。

北京市首都公路发展集团有限公司 高速公路机电系统设备维护维修预算定额（试行）

微系统设计与制造

本书介绍微系统的基础理论，分析设计方法和制造技术。

MEMS/MOEMS封装技术

本书的主要内容为MEMS和MOEMS电子封装工程基础，MEMS和MOEMS器件的原理、材料与制造，MEMS/MOEMS封装面临的挑战和策略，MEMS/MOEMS封装材料和工艺，以及纳米技术。...

高等院校通用教材 微传感器设计、制造与应用

本书主要对基于压阻效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理、材料、设计等进行深入系统的讨论。...