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微机电系统与微细加工技术

微机电系统与微细加工技术

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电子书积分：10 积分如何计算积分？
作者：朱荻，云乃彰，汪炜等编
出版社：哈尔滨：哈尔滨工程大学出版社
出版年份：2008
ISBN：9787811332384
页数：227 页

图书介绍：本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

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《微机电系统与微细加工技术》目录

标签：机电系加工技术

1绪论 1

微机电系统与微型化 1

微型化的基础——微细制造 4

2微机电系统组成原理及设计 8

微机电系统的组成和工作原理 8

微尺度理论基础 37

计算机辅助设计 57

习题 74

3微细加工技术 75

硅微细加工 75

LIGA技术 83

微细电火花加工 92

微细电铸 99

微细电解加工 107

微细高能束流加工 115

习题 124

4微机电系统的检测 125

MEMS器件的几何量测量 125

力学性能测试 140

习题 153

5微机电系统的应用 154

微机电系统的军事应用 154

微机电系统在民用工业中的应用 191

习题 223

参考文献 225

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