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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
赵晓锋著2009 年出版246 页ISBN:9787811291261本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFET压/磁多功能传感器,在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测,从基本结构设计、工作原理、特性分析等方...
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