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单片机应用系统设计与制作
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泛结构化微机电系统集成设计方法
苑伟政,常洪龙著2010 年出版218 页ISBN:9787561227589本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法,系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上,提...
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微机电系统设计与加工
(美)MOHAMEDGAD-EL-HAK编著2010 年出版536 页ISBN:9787111285977本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识,内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用等知识。...
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