微机电系统工程基础

本书主要介绍正在快速发展的微电机系统工程基础知识，涵盖了当今高科技前沿领域的半导体超精密制作工艺、微传感器和精细微系统的机理、设计、建模、应用等。...

微机电系统设计与加工

本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...

微机电系统（MEMS）设计 建模、仿真与可视化

本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...

泛结构化微机电系统集成设计方法

本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...

微机电系统与设计

全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章...

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...

机电控制技术

机电技术专业英语

本书的主要内容包括数控技术、机电一体化技术等专业所需的专业英语阅读。

机电控制技术

本书主要内容包括传感器与检测技术、继电器-接触器控制技术、电动机驱动与控制技术、可编程控制技术、气动与液压控制技术等。

机电一体化技术

本书以项目的形式进行编写，从应用的角度出发系统地介绍了典型机加工设备、升降电梯、机械手、自动化生产线的机械加工和电气控制原理。