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光电位移精密测量技术
叶盛祥编著2003 年出版230 页ISBN:7537235651本书系统全面介绍了光电位移精密测量技术的原理、设计和应用,内容包括光栅、莫尔知识、编码盘制造检测、读数头和光学系统、信号等的应用。...
本书系统全面介绍了光电位移精密测量技术的原理、设计和应用,内容包括光栅、莫尔知识、编码盘制造检测、读数头和光学系统、信号等的应用。...