光学零件特种加工工艺学 上PDF电子书下载

第一篇 概论 1

第一章 光学零件的制造 1

1—1 光学零件及其制造工艺 1

一、光学零件的种类 1

前言 1

二、光学零件的制造过程 4

1—2 特种加工零件的坯料 12

一、材料 12

二、技术要求 18

复习题 21

第二章 工艺的基本知识 22

2—1 生产过程和工艺过程 22

一、生产过程 22

二、工艺过程 23

一、工艺文件 24

2—2 工艺文件与工艺纪律 24

二、工艺纪律 25

复习题 25

第二篇 光学零件镀膜工艺基础 26

第三章 概述 26

3—1 光学零件的镀膜 26

3—2 光学薄膜的分类和镀制方法 27

一、光学薄膜的分类 27

二、光学薄膜的镀制方法 30

复习题 31

第四章 真空获得和真空度测量 32

4—1 真空与真空度 32

4—2 获得真空的设备 35

一、机械泵的结构与工作原理 36

二、油扩散泵的结构和工作原理 43

4—3 真空度的测量 50

一、低真空度的测量 51

二、高真空度的测量 57

三、真空测量仪 62

复习题 65

第五章 真空镀膜设备 66

5—1 真空镀膜机 66

一、抽气系统 70

二、真空室 72

三、电气系统 75

四、膜厚监控装置 77

5—2 真空镀膜机的安装调试与维护保养 77

一、安装与调试 77

二、真空系统的检漏 79

三、维护保养 81

5—3 夹具与蒸发源 82

一、真空镀膜夹具 82

二、蒸发源 84

复习题 89

第六章 真空镀膜工艺的基本知识 90

6—1 膜层的形成 90

一、成核过程 90

二、生长过程 92

6—2 膜层形成条件 94

一、真空度 94

二、洁净 98

三、基底温度 101

四、膜料处理 103

五、蒸发 105

6—3 膜厚监控 109

一、目测法 112

二、光电极值法 116

6—4 工艺过程与操作步骤 120

一、真空镀膜基本工艺 120

二、操作步骤 121

复习题 125

第七章 薄膜镀制工艺 126

7—1 金属反光膜的镀制 126

一、金属反光膜简介 126

二、铝反光膜的镀制 128

三、镀制铝膜的保护膜 131

四、银反光膜和它的保护膜的镀制 140

五、金反光膜 144

六、疵病分析与退膜 144

一、增透的概念 146

7—2 增透膜的镀制 146

二、增透膜膜料的选择与镀制方法 147

三、疵病分析与退膜 152

7—3 分光膜的镀制 153

一、分光膜的概念 153

二、单层分光膜的膜料选择 156

三、金属分光膜的镀制 160

复习题 165

第八章 化学镀膜 166

8—1 酸蚀法 167

一、酸蚀法简介 167

二、稀酸溶液酸蚀法工艺 168

8—2 离心法 169

一、成膜原理 169

二、镀增透膜 170

三、镀分光膜 173

四、离心法镀制工艺 177

8—3 溶液还原法 203

一、成膜原理 203

二、镀膜设备与镀膜溶液的配制 204

三、镀制方法 208

四、常见疵病及其克服方法 212

8—4 阳极氧化法 216

一、阳极氧化法的基本概念 216

二、阳极氧化法镀三氧化二铝的设备 218

三、镀制工艺 218

复习题 219

第九章 薄膜质量的检测 220

9—1 一般检查 220

一、反射率的测量 221

9—2 光学特性的检测 221

二、透射率的测量 223

9—3 机械强度的检验 225

9—4 化学稳定性与低温试验 228

一、潮湿空气试验 229

二、盐水试验 229

三、高、低温试验 229

复习题 230

第三篇 光学分划零件制造工艺基础 231

笫十章 分划零件制造概述 231

10—1 光学分划零件制造的意义 231

10—2 分划零件及其制造方法 232

一、分划零件 232

二、分划零件的制造 234

复习题 235

11—1 缩仿机 236

一、缩仿机构原理 236

第十一章 刻划机床 236

二、Q4901型缩仿机 238

11—2 多头刻线机 244

一、多头刻线机简介 244

二、KJ_5型五轴刻线机 245

11—3 长刻度机 250

一、刻划机构 251

二、分度机构 253

三、工作台与导轨 256

11—4 圆刻度机 257

一、刻划机构 258

二、分度机构 260

三、工作台与轴系 261

11—5 螺旋线刻划机 262

一、采用齿轮、丝杆传动的组合 263

三、采用丝杆、杠杆机构的组合 264

二、采用丝杆、斜面滑块带动的组合 264

复习题 265

笫十二章 刻划刀具与夹具 266

12—1 刻划刀具 266

一、刀具材料的选择 266

二、刻刀的种类 267

三、刀具的研磨 271

四、刻刀靠模 272

12—2 刻划夹具 274

一、长刻尺夹具 276

二、圆度盘夹具 277

三、分划板夹具 277

四、定位具 278

复习题 279

一、刻划工艺 280

第十三章 刻划工艺 280

13—1 玻璃的直接刻划 280

二、疵病分析 283

13—2 刻划—腐蚀法 283

一、玻璃坯料的清洗 284

二、刻度蜡和保护蜡的配制及涂布 285

三、腐蚀液及其应用 296

四、填充着色 303

五、线条疵病分析 311

13—3 刻划—镀铬法 313

一、刻度蜡的配制及涂布 314

二、刻划 316

三、镀铬 316

四、线条疵病分析 322

13—4 金属层的刻划工艺 322

一、直接刻划金属层 323

二、金属层的刻划—腐蚀法 328

复习题 331

第十四章 照相复制概述 332

14—1 照相复制过程与特点 332

14—2 照相复制基本原理 334

一、卤化银感光胶的光化学原理 335

二、铬盐感光胶的光化学原理 337

三、光致抗蚀剂感光胶的光化学原理 338

14—3 曝光与夹具 341

一、曝光 341

二、定位方法和夹具 347

14—4 模版的制造 350

一、对复制用工作模版的要求 351

二、模版制作的常用方法 351

复习题 353

第十五章 照相复制工艺 354

15—1 火棉胶干版照相复制工艺 354

一、感光膜层及对它的要求 355

二、零件的清洁 357

三、结合液及其涂布 358

四、火棉胶干版的制备 359

五、曝光 365

六、显影 365

七、定影 367

八、减薄与加厚 369

九、自检及修版 370

十、火棉胶干版常见疵病及克服方法 375

15—2 虫胶照相—镀铬复制工艺 377

二、虫胶感光胶 379

一、粘辅助玻璃 379

三、涂布、烘干 383

四、曝光 385

五、显影、染色、水洗 385

六、修版 387

七、除膜 388

八、疵病分析 392

15—3 银层聚乙烯醇照相—镀铬复制工艺 394

一、感光胶的配制 395

二、化学镀银 397

三、腐蚀 397

四、疵病分析 401

复习题 402

第十六章 分划零件的质量与检验 403

16—1 表面质量和线条质量 403

一、表面质量 403

二、线条质量 404

16—2 图形精度 411

一、图形精度的含义 411

二、图形精度的测量 412

16—3 常用检验仪器 414

一、显微镜 414

二、台式投影仪 415

三、阿贝比长仪 417

四、万能工具显微镜 420

五、常用检验仪器的维护与保养 424

复习题 425

第十七章 光栅 426

17—1 概述 426

一、光栅简介 426

二、光栅的类型 429

17—2 光栅制造简介 432

一、刻划光栅 433

二、复制光栅 436

三、全息法制造光栅 439

17—3 振幅型计量光栅的基本知识 441

一、光栅常数 441

二、光栅莫尔条纹 441

三、莫尔条纹的几何解释 444

四、光栅莫尔条纹宽度 444

五、莫尔条纹的特点 446

六、莫尔条纹测量原理 447

17—4 振幅型汁量光栅的制造 447

一、光栅刻划机 447

二、刻划工艺 450

三、检验 464

复习题 466

三、光栅的应用 490