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第一章　引论 1

1.1　表征真空状态的物理量 1

1.2　压强单位 3

1.3　真空测量的特点 5

1.4　真空计的分类 9

第二章　液体真空计 11

2.1　液柱真空计 11

2.1.1　工作原理 11

2.1.2　基准液柱真空计 13

2.1.3　液柱真空计的误差 17

2.2　压缩真空计 19

2.2.1　工作原理 19

2.2.2　压缩真空计的压强刻度 21

2.2.3　压缩真空计的刻度修正 22

2.2.4　汞蒸气流效应 24

2.2.5　压缩真空计的若干形式 27

2.2.6　压缩真空计的误差 30

参考文献 32

第三章　变形真空计 34

3.1　弹簧管和膜盒真空计 34

3.2　薄膜电容真空计 37

3.2.1　工作原理 37

3.2.2　温度影响 42

参考文献 47

第四章　粘滞真空计 49

4.1　概述 49

4.2　转子真空计结构和原理 50

4.3　转子真空计压强方程 52

4.4　转速衰减与时间的关系 55

4.5　转子真空计的测量范围 59

4.6　转子真空计的误差 60

4.7　转子真空计的使用 62

4.8　振膜真空计 63

参考文献 65

第五章　热传导真空计 66

5.1　概述 66

5.2　压强方程 67

5.3 灵敏度和测量范围 70

5.3.1　灵敏度 70

5.3.2　测量下限 71

5.3.3　测量上限 72

5.4　不同气体的换算因子 74

5.5　电阻真空计 77

5.5.1　电阻真空计的工作模式 77

5.5.2　环境温度的影响及其补偿 80

5.5.3　加热功率变化的影响 81

5.5.4 热丝材料 82

5.6　其它电阻真空计 83

5.6.1　半导体热敏电阻真空计 83

5.6.2　单晶硅薄膜电阻真空计 85

5.6.3　氮化钽薄膜电阻真空计 87

5.7　热偶真空计 88

5.7.1　热偶真空计的刻度曲线 88

5.7.2　热丝温度 89

5.7.3　薄膜型热偶真空计 91

5.8　对流真空计 92

参考文献 94

第六章　热阴极电离真空计 96

6.1　概述 96

6.2　特征方程 98

6.3　灵敏度计算 102

6.3.1 电离效率函数 102

6.3.2　灵敏度解析式 106

6.3.3　电子的平均飞行次数 109

6.3.4　温度换算系数b的确定 111

6.4 灵敏度与电极参量的关系 115

6.4.1　与阴极参量的关系 115

6.4.2　与加速极、收集极尺寸的关系 117

6.4.3　与电参量的关系 120

6.5　测量上限及其拓宽 122

6.5.1 上限的限制因素和拓宽条件 122

6.5.2　高压强电离计 124

6.6　测量下限 127

6.6.1　光电常数和x射线限 127

6.6.2　几何因子G的导出 129

6.7　B-A计的结构特点 132

6.8　B-A计的极限灵敏度 135

6.9　B-A计中的电子运动 136

6.10　B-A计中的离子收集效率 144

6.11　B-A计中的气体温度 152

6.12　B-A计的测量范围 155

6.12.1　测量上限 155

6.12.2　测量下限 156

6.13　B-A计测量下限拓宽 159

6.13.1　减小几何因子的限制 159

6.13.2　调制技术 160

6.13.3　反向x射线光电流效应 163

6.14　其它热阴极超高真空计 167

6.14.1　抑制型电离计 167

6.14.2　引出型电离计 168

6.14.3　偏转型电离计 171

6.15 电离计的阴极 173

6.15.1　阴极材料 173

6.15.2　炽热钨阴极与气体的作用 175

6.15.3　钨阴极的寿命 176

6.16　不同气体的相对灵敏度 178

6.17 电离计中的高频振荡 180

参考文献 183

第七章　冷阴极电离真空计 187

7.1　概述 187

7.2　潘宁计中的电子运动 189

7.2.1　电位分布 189

7.2.2　电子运动轨迹 191

7.3　潘宁计的着火条件 198

7.3.1　着火的必要条件 198

7.3.2　临界磁场和最小着火电压 199

7.4　潘宁计中空间电荷影响 202

7.5　潘宁计的测量范围 205

7.6　反磁控计的结构特点 208

7.7　反磁控计的着火理论 209

7.7.1　电子运动的定性描述 209

7.7.2　第一汤生系数的导出 211

7.7.3　不均匀电场中的破裂方程 215

7.7.4　阴极的二次发射过程 218

7.7.5　着火特性的实验曲线 220

7.8　点火极的工作机理 221

7.9　磁场的理想配置 223

7.10　反磁控计的工作特性 224

7.11　微型反磁控计 227

7.12　磁控管式冷阴极计 228

7.12.1　结构和特性 228

7.12.2　二极型正磁控计 230

参考文献 231

第八章　放射源电离真空计 232

8.1　概述 232

8.2　放射源计的灵敏度 233

8.2.1　灵敏度解析式 233

8.2.2　灵敏度和计管几何参量的关系 237

8.2.3 灵敏度和放射源参量的关系 238

8.2.4　灵敏度计算值和实验值比较 239

8.3　刻度曲线和测量范围 240

8.3.1　刻度曲线与气体种类的关系 240

8.3.2　测量下限 242

8.3.3　测量上限 243

8.4　分布式钚源电离计 246

8.4.1　结构特点 246

8.4.2　灵敏度和测量下限 247

8.5　低下限放射源电离计 249

8.6　β粒子源电离计 250

参考文献 252

第九章　其它真空计和密封器件中的压强测量 254

9.1　热辐射真空计 254

9.1.1　工作原理 254

9.1.2　结构举例 257

9.2　热阴极磁控电离计 258

9.2.1　结构特点和原理 258

9.2.2　运用条件和特性 261

9.3　密封器件的压强测量 263

9.3.1　一般原理 264

9.3.2　真空开关管内的压强监测 266

参考文献 269

第十章　真空计的刻度和校准 270

10.1　静态膨胀法 270

10.2　动态流量法 275

10.2.1　动态流量法原理 275

10.2.2　动态流量法校准装置举例 279

10.2.3　气流量的测量 281

10.2.4　动态流量法的误差 286

10.3　直接比较法 287

参考文献 290