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目录 1

序 皇家学会会员托兰斯基教授 1

作者序 1

第一章 真空蒸发 1

1．淀积技术 1

2．在减压下蒸发 2

3．真空蒸发设备的设计及操作 4

4．高真空的获得 5

5．挥发性材料镀膜用的设备 15

6．防止旋转泵油染污 18

第二章 真空中塑料材料的除气 25

1．导论 25

2．塑料的相对除气性质 25

3．增塑剂 27

4．真空中来自多孔固体的挥发物的退吸作用 30

5．一些著名聚合物的干燥机理 31

6．表面敷？克 35

7．塑料表面的离子轰击 36

8．纸张的干燥 37

第三章 真空淀积层的耐久性及表面清洁设备 39

1．化学清洁 39

2．离子轰击清洁 41

3．低压时气体放电 44

4．离子轰击设备 46

5．电子轰击 51

6．真空淀积膜的耐久性 54

第四章 蒸汽源 58

1．真空中蒸发 58

2．丝状及箔状蒸汽源………………………………………………………………………………………？3．真空中不同耐熔质之间的反应 69

4．金属氧化物坩埚 70

5．碳坩埚及加热元件 72

6．一种辐射加热的蒸汽源 74

7．电子轰击加热 75

2．理论简述 76

第五章 蒸汽源发射特性及薄膜厚度分布 78

1．导论 78

3．实际源的发射特性 89

4．蒸汽分子从加热器表面上的反射 93

5．通过小孔的蒸汽发射 94

6．递级淀积层的制造 95

第六章　一系列的金属及合金的蒸发技术 96

1．铝 96

2．铍 99

3．铬 100

4．钴、镍及铁 100

5．铑 101

6．锌及镉 102

7．合金的蒸发 103

8．恒定蒸发率的合金 107

9．“刹那”蒸发技术 110

第七章　真空淀积的膜的成长，结构及物理性质 112

1．凝结现象 113

2．真空淀积的膜层的组织及结晶成长 116

3．膜层厚度及表面密度的测量 124

4．取决于膜层结构的物理性质 131

第八章　用于电方面的薄膜的制备 140

1．金属化的电阻器 140

2．电容器纸上镀锌膜 142

3．锌淀积技术 145

4．在晶体振动器上淀积电极 149

1．导论 153

2．减反射膜 153

第九章　光学干涉膜 153

3．耐久的减反射膜 155

4．多层减反射膜 159

5．高反射膜 161

6．法布里—珀罗干涉滤光片 163

7．硫化锌的光学及蒸发性质 167

第十章　控制干涉膜的淀积用的设备 169

1．制备高及低反射膜的设备 169

2．多层干涉膜的淀积设备 174

3．法布里—珀罗干涉滤光片的透射波长的精确控制 178

第十一章　蒸发的铝膜 181

1．光学性质 181

2．高反射铝合金 185

3．衬底温度及蒸发率对铝镜反射比的影响 185

4．蒸汽入射角对反射比的影响 187

5．阻止粒状淀积膜生长的蒸汽源排列 191

6．耐久铝镜的制备 193

7．铝的氧化作用 195

8．蒸发的铝镜上镀多层膜 201

第十二章 在塑料及涂？克的部件上的蒸发的铝膜层 203

1．在透明塑料上的光学膜层 203

2．塑料部件上的电膜 206

3．涂？克的部件的金属终饰 207

4．塑料基底用的？克配方 211

5．金属基底用的？克 213

6．染色的？克保护膜 215

7．工作物夹具的设计 216

第十三章　影铸及表面重摹 220

1．导论 220

2．蒸气入射角对象衬度的影响 220

3．表面重摹品及影铸淀积膜 221

5．影铸设备 224

4．光学显微术用的成影 224

第十四章　阴极溅射 229

1．导论 229

2．电化溅射 229

3．物理溅射 231

4．阴极设计对溅射率的影响 237

5．被溅射的淀积膜的分布 239

6．阴极溅射理论（物理的） 243

7．溅射纯金属膜 246

8．典型的溅射设备 249

9．金属试样的阴极侵蚀 250

第十五章　金属氧化物膜的制备 253

1．导论 253

2．金属氧化物的真空蒸发 256

3．纯及不纯金属膜的热氧化作用 256

4．金属氧化物的反应溅射 259

5．反应溅射机理 261

第十六章　氧化物膜的制备及其性质 265

Ⅰ．光学上的应用 265

1．氧化铝 265

2．二氧化钛 266

3．氧化铁 271

4．低反射比的吸收滤光片 274

5．硅的氧化物 275

Ⅱ．导电的氧化物 281

6．金属氧化物中的导电机理 281

7．氧化锡 281

8．氧化镉………………………………………………………………………………………………………？Ⅲ．做为透明导电膜的底膜的金属氧化物9．氧化物底膜对金属膜电导率的效应 288

10．对透明导电膜在使用中的实际考虑 290

附录 291

一系列无机化合物的淀积特性及折射率 291

参考文献 298