薄膜技术PDF电子书下载

第一章 成膜技术 1

1-1 概述 1

1-2 真空蒸发镀膜 1

1-3 溅射镀膜 10

1-4 离子成膜法 21

1-5 化学气相沉积 25

1-6 分子束外延制膜法 32

1-7 化学溶液镀膜法 34

1-8 膜厚的测量与监控 38

1-9 膜厚分布的计算 46

习题与思考题 52

第二章 薄膜的生长过程及结构 53

2-1 薄膜生长过程及其分类 53

2-2 成核理论 57

2-3 溅射薄膜与外延薄膜的生长特性 62

2-4 薄膜的结构与缺陷 63

2-5 影响薄膜结构的因素 66

2-6 非晶态薄膜 67

习题与思考题 69

第三章 薄膜的电性能 70

3-1 连续金属薄膜的电导 70

3-2 非连续金属薄膜的电导 84

3-3 介质薄膜 94

3-4 超导体薄膜 105

习题与思考题 110

第四章 薄膜的光学性能 111

4-1 薄膜光学的基本理论 111

4-2 薄膜光学性能的测量 117

4-3 介质膜的反射率 119

4-4 增透膜与反射膜 124

4-5 薄膜波导与集成光学 127

习题与思考题 130

第五章 薄膜的机械性能和磁学性能 131

5-1 薄膜的附着力 131

5-2 薄膜的内应力 136

5-3 薄膜的硬度 143

5-4 薄膜的磁性能 144

习题与思考题 149

第六章 半导体薄膜 150

6-1 半导体的光激发效应 150

6-2 半导体的特征长度及其薄膜的特性 153

6-3 单晶和非晶半导体薄膜 160

6-4 半导体薄膜特性的测量法 161

6-5 半导体薄膜的应用 165

6-6 光刻与腐蚀技术 168

习题与思考题 177

第七章 薄膜的表面与界面 179

7-1 表面界面特征与现象 179

7-2 吸附机理与吸附膜的形成机理 185

7-3 表面扩散与界面扩散 191

7-4 界面电气现象 194

7-5 界面接触效应 197

7-6 薄膜中的电迁移现象 203

习题与思考题 204

主要参考文献 206