容栅传感器的研究与应用PDF电子书下载

第一章 容栅传感器概述 1

第一节 容栅传感器的定义 1

第二节 容栅传感器的发展 2

第三节 容栅传感器的测量电路 13

第二章 容栅传感器有限元法分析 23

第一节 引言 23

第二节 梳状电容传感器建模 25

第三节 梳状电容传感器模型的改进 44

第四节 系列电极式电容传感器建模 55

第三章 容栅传感器谐波法分析 64

第一节 等效电路 64

第二节 激励信号 67

第三节 工作电容 78

第四节 输出电荷 80

第五节 输出电压 84

第六节 反射电极的改进 86

第一节 引言 88

第四章 容栅传感器优化设计 88

第二节 性能指标 89

第三节 优化算法 94

第四节 梳状电容传感器优化设计 99

第五节 系列电极式电容传感器优化设计 109

第五章 容栅传感器误差分析 115

第一节 引言 115

第二节 误差测试 115

第三节 误差分析 119

第四节 误差建模 123

第五节 误差修正 129

第六章 容栅传感器应用 136

第一节 容栅式数显卡尺智能接口 136

第二节 容栅式数显机床标尺 140

第三节 容栅式数显沟槽测量仪 144

参考文献 152