小尺寸测量PDF电子书下载

第一章 小尺寸测量与公差概况 1

一 小尺寸概念 1

二 小尺寸零件的种类 2

三 小尺寸测量的特点 21

四 小尺寸的公差与配合 23

第二章 细丝直径测量 48

一 概述 48

二 斜照明干涉法 49

三 激光衍射法 53

四 激光散射法 73

五 放大测量法 82

六 扫描测量法 85

第三章 小孔直径测量 106

一 概述 106

二 小孔直径的接触测量 108

三 小孔直径的非接触测量 140

第四章 薄膜厚度测量 157

一 概述 157

二 形状膜厚的测量 166

三 质量膜厚的测量 181

四 物质膜厚的测量 194

第五章 镀层与涂层厚度测量 215

一 概述 215

二 镀层厚度的测量 216

三 涂层厚度的测量 252

四 涡流测量法及其在测厚中的应用 265

第六章 小宽度测量 277

一 概述 277

二 薄带宽度的测量 280

三 狭缝宽度的测量 283

四 刻线宽度的测量 300

第七章 小位移测量 328

一 概述 328

二 小位移机械法测量 329

三 小位移光学法测量 329

四 小位移电学法测量 344

五 小位移气动法测量 349

第八章 小尺寸测量技术的发展 357

一 概述 357

二 电视、电子显微镜 358

三 超声波显微术 381

四 CCD测量 385

五 全息干涉测量与全息显微术 398

第九章 小尺寸量仪的检定 405

一 概述 405

二 示值误差的检定 407

三 灵敏度与线性误差的估计 423

四 示值稳定度的检定 425