MEMS技术及其应用PDF电子书下载

第一章 绪论 1

1.1 MEMS的定义 2

1.2 国内外研究概况及展望 4

1.3 纳米技术及展望 15

第二章 MEMS基础理论 23

2.1 尺寸效应 24

2.2 微机械常用材料 26

2.3 微构造的机械特征 28

2.4 微构造的振动特性 31

2.5 微构造的热特性 32

2.6 摩擦磨耗的减小办法 33

2.7 微流路中液体的流动 35

2.9 超小型机械实验的障碍及对策 37

2.8 微机械的驱动原理 37

第三章 微机械制造技术 40

3.1 概述 42

3.2 体加工工艺 44

3.3 硅表面微机械加工技术 75

3.4 结合加工 82

3.5 逐次加工 92

3.6 LIGA技术 94

3.7 微机械加工技术中的微电子工艺和设备 111

3.8 本章小结 137

第四章 MEMS CAD辅助分析设计 138

4.1 ANSYS的主要技术特点 139

4.2 ANSYS使用中几个应注意的问题 142

4.3 ANSYS的分析步骤 142

4.4 微型电磁继电器受力及磁场分布的ANSYS模拟 143

4.5 仿真分析的一些经验 153

4.6 本章小结 155

第五章 微传感器 156

5.1 传感器的基本物理效应 158

5.2 压阻效应与半导体应变传感器 160

5.3 电容式三维加速度计 167

5.4 振动式微陀螺仪 176

5.5 微型热式湿度传感器 179

5.6 微型光栅读码器 182

5.7 微型磁通门 184

第六章 微操作器 194

6.1 静电型微操作器 194

6.2 电磁型微操作器 203

6.3 热膨胀型微操作器 205

6.4 压电型微操作器 206

6.5 微机械零件 207

第七章 微机电系统 210

7.1 微机电系统的特点 211

7.2 微机电系统实现所面临的课题 212

7.3 微机电系统介绍 213

第八章 生物芯片 244

8.1 生物芯片概述 244

8.2 生物芯片中常用的几种检测原理 252

8.3 生物芯片加工技术 271

8.4 生物芯片 282

8.5 本章小结 297

参考文献 298