薄膜技术及应用PDF电子书下载

第一章 薄膜技术基础 1

1 薄膜及其特征 1

2 薄膜的形成 2

3 薄膜的力学性质 9

4 薄膜的电导 18

5 金属薄膜中的电迁移 25

6 介质薄膜 27

第二章 真空蒸发镀膜 31

1 真空的获得与测量 31

2 真空蒸发镀膜原理 36

3 蒸发源 42

4 蒸发源的发射特性和膜厚分布 51

5 一般蒸镀技术 56

6 特殊蒸镀技术 57

7 真空蒸发镀膜机 64

第三章 真空溅射镀膜 68

1 溅射镀膜的特点 68

2 溅射理论 68

3 溅射产额及选择溅射 71

4 溅射原子能量和角度的统计分布 79

5 反应溅射 80

6 薄膜形成过程中的几个问题 82

7 溅射镀膜方式 84

第四章 其他物理气相淀积方法 94

1 真空离子镀膜技术 94

2 离子束淀积技术 106

3 分子束外延生长 109

第五章 化学气相淀积技术 116

1 化学气相淀积技术原理、反应方式和特点 116

2 化学气相淀积所使用材料 120

3 化学气相淀积装置 122

4 常压化学气相淀积（APCVD） 125

5 低压化学气相淀积（LPCVD） 136

6 等离子增强化学气相淀积（PECVD） 142

7 有机金属化学气相淀积（MOCVD） 146

8 光化学气相淀积（光CVD） 148

第六章 薄膜图形形成技术 151

1 光刻掩模版的制做 151

2 光刻法 152

3 干法刻蚀 154

4 掩蔽法 160

5 剥离法（反向刻蚀法） 162

第七章 薄膜技术应用 164

1 薄膜技术在温度敏感元件中的应用 164

2 薄膜技术在磁敏元件中的应用 169

3 薄膜技术在湿敏元件中的应用 173

4 薄膜技术在气敏元件中的应用 174

5 薄膜技术在力敏元件中的应用 176

6 薄膜技术在半导体器件中的应用 177

7 薄膜技术在电子元件中的应用 179

8 薄膜技术在机械工业中的应用 182

9 塑料基片上薄膜技术的应用 186

10 薄膜技术在光电器件中的应用 188

11 信息、计算机工业中的薄膜技术 190

第八章 薄膜检测 193

1 薄膜厚度的检测 193

2 薄膜的形貌和结构检测 201

附录：基片 212