容栅技术PDF电子书下载

1 概论 1

2 鉴相型容栅传感器及信号处理的基本原理 4

2.1 鉴相型容栅传感器的基本结构和工作原理 4

2.2 数显表的基本结构和工作原理 10

3 调相型容栅传感器的移相原理 14

3.1 调相型容栅传感器的基本结构和等效电路 14

3.2 基本通式 14

3.3 ui（t）和ci（x）的波形特征 15

3.4 对基波求解 16

4 调相型容栅传感器的数学模型 19

4.1 问题的提出 19

4.2 简化模型 20

4.3 实际的数学模型 24

5.2 典型分析 34

5 鉴相型容栅传感器原理性误差的分析 34

5.1 输出函数的通式 34

5.3 结论 37

6 容栅传感器原理的二维时空分析和矩阵理论 38

6.1 容栅传感器的基本结构和基本原理 38

6.2 激励函数的时空特性及其分析 39

6.3 电容耦合函数的空间特征及分析 44

6.4 输出函数的特征和分析 49

6.5 t时刻的u（x，t）和x的关系 53

6.6 v（t）的解调函数D（t）的特征及矩阵表示 54

6.7 v（t）的形状特征函数S（t） 56

6.8 二维c（x，t）及二维v（x，t）的含义 60

6.9 容栅传感器的平均效应 61

6.10 根据容栅传感器的调相原理提出的几种鉴相型信号处理系统 64

6.11 容栅传感器的调幅特性及其鉴幅型信号处理系统 65

7 鉴相型容栅传感器的动尺和定尺的几何精度的误差分析 70

7.1 误差分析的基本原理 70

7.2 Δx的通式的建立 72

7.3 对通式的讨论 73

7.4 容栅传感器几何误差对测量准确度影响的矩阵分析 75

7.5 其他讨论 79

8 位置测量系统概述 81

8.1 测量系统的分类 81

8.2 位置测量系统的主要性能指标 83

9 脉冲移相法鉴相型容栅测量系统 84

9.1 脉冲移相器 84

9.2 鉴相器 86

9.4 相差限制电路 87

9.3 相位差值门槛与防闪电路 87

9.5 计数脉冲门 88

9.6 显示计数系统 88

10 鉴相型有源容栅位移传感器的动态直读法测量系统 89

10.1 动态直读法鉴相原理 89

10.2 动态直读法的实现方法 91

11 鉴相型容栅传感器的频率相减法测量系统 94

11.1 锁相环路的工作原理 94

11.2 锁相倍频（电子细分） 95

11.3 频率相减电路 96

12 数显卡尺集成电路分析简介 99

12.1 概况 99

12.2 芯片的外部结构 99

12.3 芯片的性能指标 99

12.4 容栅电路的电路结构 99