半导体物理实验PDF电子书下载

实验一 激光测定硅单晶晶轴 1

实验二 硅单晶中晶体缺陷的腐蚀显示 11

实验三 四探针法测电阻率 24

实验四 扩展电阻探针法测量硅片微区电阻率变化及电阻率深度分布 39

实验五 电容－电压法测杂质浓度分布 52

实验六 二次谐波法测杂质浓度分布 61

实验七 硅单晶的霍耳效应与电导率 69

实验八 硅单晶杂质补偿度的测量 83

实验九 光电导衰退法测量硅单晶中少数载流子的寿命 97

实验十 光磁效应光电导补偿法测量少数载流子寿命 108

实验十一 表面光电压法测量硅少数载流子扩散长度 118

实验十二 热激电容热激电流法测量硅中深能级中心 128

实测十三 瞬态电容法测量硅中深能级中心 142

实验十四 用深能级瞬态谱（DLTS）法测量硅中的深能级中心 154

实验十五 高频MOS电容－电压关系测量 172

实验十六 MOS电容法测量硅的产生寿命和表面产生速度 186

实验十七 用三角波电压扫描法检测二氧化硅层中可动离子面密度 197

实验十八 扫描内光电法测量硅－二氧化硅界面可动正离子的横向分布 209

实验十九 用热激电流法测量硅－二氧化硅界面态密度分布 220

实验二十 用准静态技术测量硅－二氧化硅界面态密度分布 233

实验二十一 硅－二氧化硅界面态密度分布的计算机数据处理 249

实验二十二 超高真空下测量半导体表面吸附气体后功函数的变化 265

实验二十三 用椭圆偏振仪测量半导体表面介质薄膜的厚度和折射率 279

附录 索引 304

物理常数表 310

常见单位的名称和符号 311