硅片加工工艺学PDF电子书下载
- 电子书积分:10 积分如何计算积分?
- 作 者:高融,苏明哲译
- 出 版 社:上海:上海科学技术文献出版社
- 出版年份:1985
- ISBN:15192·401
- 页数:201 页
第一章 硅材料 1
1.1 材料 1
1.2 硅的物理特性 2
1.3 硅的电学特性 4
1.4 加工 19
1.5 切片 23
1.6 抛光单晶硅片的规格、订购和测定 25
第二章 外延淀积 32
2.1 外延工艺概述 32
2.2 外延淀积用的材料 39
2.3 现有的外延淀积系统 40
2.4 外延层淀积 42
2.5 基座选择和操作 45
2.6 外延淀积层的测定 48
2.7 安全措施 52
2.8 检查及排除故障 53
2.9 蓝宝石上的外延淀积 55
2.10 介质隔离 56
2.11 MOS多晶硅栅 58
2.12 低压淀积 59
第三章 扩散和氧化 62
3.1 引言 62
3.2 费克定律 62
3.3 高斯分布 64
3.4 扩散系数和固溶度 64
3.5 典型扩散工艺 68
3.6 氧化 88
3.7 离子注入 105
附录:气体使用说明书 112
第四章 光刻 127
4.1 引言 127
4.2 工艺步骤 128
4.3 光刻胶的种类 130
4.4 涂胶 132
4.5 曝光系统 134
4.6 显影/坚膜 137
4.7 腐蚀 138
4.8 去胶 140
第五章 金属化 142
5.1 引言 142
5.2 金属淀积技术 142
5.3 金属化工艺 152
5.4 合金化 153
第六章 工艺控制 155
6.1 引言 155
6.2 控制系统 155
6.3 器件评价模型化 164
6.4 设备校准和维修 165
6.5 工艺控制技术 169
6.6 探针测试 171
6.7 结深测量 177
6.8 测量少数载流子寿命 178
6.9 扫描电子显微镜 179
6.10 MOS工艺所需的工艺控制 180
6.11 测试图形概念 182
6.12 原材料制备 183
6.13 外延材料 183
6.14 硅片制备 184
6.15 扩散 184
6.16 光刻 185
第七章 硅技术的前景 189
7.1 引言 189
7.2 亚微米技术 190
参考文献 199
- 《激光加工实训技能指导理实一体化教程 下》王秀军,徐永红主编;刘波,刘克生副主编 2017
- 《葡萄酒工艺与鉴赏 第3版》廖祖宋 2019
- 《先进激光加工技能实训》肖海兵主编 2019
- 《化学工程与工艺专业实验指导》郭跃萍主编 2019
- 《美物之道 日本手工艺》(日)柳宗悦著 2019
- 《有色金属冶金新工艺与新技术》俞娟,王斌,方钊,崔雅茹,袁艳 2019
- 《洗涤剂生产工艺与技术》宋小平,韩长日主编 2019
- 《菜籽油加工技术》罗质主编 2019
- 《皮革用化学品生产工艺与技术》宋小平,韩长日著 2018
- 《玉米淀粉绿色精益制造 新工艺、新设备、新理念》佟毅 2018
- 《海明威书信集:1917-1961 下》(美)海明威(Ernest Hemingway)著;潘小松译 2019
- 《羊脂球 莫泊桑短篇小说选》(法)莫泊桑著;张英伦译 2010
- 《幼儿英语游戏活动指导与实训》苏小菊,任晓琴主编;颜晓芳,覃静,谢恬恬,钟博维副主编 2020
- 《公主小姐不想吃饭》(法)克里斯汀·诺曼·维拉蒙著(法)玛丽安娜·巴尔西隆绘苏迪译 2019
- 《风涛》(日)井上靖著;覃思远译 2019
- 《凯恩斯文集 第13卷 社会、政治和文学论集》严忠志译 2018
- 《弗里达·卡罗》(加)苏珊娜·巴贝扎特著;朱一凡,玩静雯,李梦幻译 2020
- 《大历史 虚无与万物之间 全彩插图版》(美)大卫·克里斯蒂安,辛西娅·斯托克斯·布朗,克雷格·本杰明著;刘耀辉译 2017
- 《中国经典文化走向世界丛书 学术卷 2》龚海燕译 2019
- 《佳人奇遇 政治小说》(日)柴四郎著;梁启超译 1936
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《现代水泥技术发展与应用论文集》天津水泥工业设计研究院有限公司编 2019
- 《近代世界史文献丛编 19》王强主编 2017
- 《异质性条件下技术创新最优市场结构研究 以中国高技术产业为例》千慧雄 2019
- 《Prometheus技术秘笈》百里燊 2019
- 《中央财政支持提升专业服务产业发展能力项目水利工程专业课程建设成果 设施农业工程技术》赵英编 2018
- 《药剂学实验操作技术》刘芳,高森主编 2019
- 《林下养蜂技术》罗文华,黄勇,刘佳霖主编 2017
- 《脱硝运行技术1000问》朱国宇编 2019
- 《催化剂制备过程技术》韩勇责任编辑;(中国)张继光 2019