刻划照相光刻PDF电子书下载

第一章 机械刻划工艺 1

第一节 机械刻划工艺的发展概况 1

第二节 工艺流程 9

第三节 刻划刀具 21

第四节 特种刻划零件实例 26

第二章 刻划设备 42

第一节 长刻线机主要部件 42

第二节 长刻线机精度问题 49

第三节 激光定位长刻线机 57

第四节 圆刻线机组成 61

第五节 提高精度的途径 72

第三章 光学照相工艺总论 92

第一节 照相工艺的发展 92

第二节 光学照相工艺的特点 94

第三节 常用术语 100

第四节 光学照相车间的设计和要求 108

第四章 照相底板的制作 113

第一节 照相底板的制作方法 113

第二节 制版照相机的结构及其调校 116

第三节 照相底图的制作 127

第四节 照相制版镜头 134

第五节 制版的感光材料 153

第一节 基本工艺 194

第五章 照相复制 194

第二节 照相复制感光胶 210

第三节 照相复制的工艺类别 240

第四节 直接光刻法 263

第六章 微细光刻技术 283

第一节 光刻原理 283

第二节 光致抗蚀剂 287

第三节 光刻技术 295

第四节 光刻设备 304

第五节 光学检测设备 321

第一节 微型机械 326

第七章 立体光刻 326

第二节 微光学 332

第三节 LIGA(X 射线深层光刻)技术 339

第四节 立体光刻成型技术 347

第八章 长度检定 371

第一节 长度检定的发展概况 371

第二节 长度检定 377

第三节 常用计量仪器 398

第九章 角度检定 434

第一节 角度检定的发展概况 434

第二节 测量术语 437

第三节 常角法检验 449

第四节 比较法 468