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第一章 扫描电子显微镜(SEM)原理 1

第一节 基本原理 1

第二节 扫描电子显微镜的特点 3

第三节 电子光学基本知识 5

1.光学折射率及电子光学折射率 6

2.透镜 8

4.透镜象差 15

第二章 扫描电子显微镜的构造 23

第一节 概述 23

第二节 镜体 23

1.电子光学系统 23

2.试样室 34

3.真空排气系统 34

第三节 电源电路系统 38

1.高压电源 38

2.二次电子加速电源及光电倍增管电源 39

3.扫描电源 39

4.透镜电源 43

第四节 信号检测及放大系统 43

1.二次电子检测及放大系统 44

2.视频放大系统 44

3.图象显示和记录系统 44

第五节 扫描电镜仪器实例 46

第三章 成象原理 54

第一节 电子与物质相互作用 54

第二节 图象解释 58

1.倾斜效应 59

2.原子序数效应 61

3.边缘效应 62

第三节 图象解释中的几个问题 64

1.检测器与试样的相对位置 64

2.荷电效应 66

3.加速电压效应 66

第四节 扫描电镜的主要性能及检测 70

1.分辨能力 70

2.放大倍数 76

3.焦深 79

4.畸变 81

5.稳定性 81

第四章 扫描电镜操作技术及象缺陷的处理 84

第一节 电子枪 84

1.高压及灯丝加热 84

2.发射电流选择 84

3.电子束稳定性及灯丝寿命 84

第二节 物镜光阑合轴 88

第三节 校正象散与调整聚焦 89

第四节 图象拍照 91

第五节 图象缺陷 94

1.图象缺陷起因 94

2.象分辨能力低及处理 94

3.象质不好的原因及处理办法 99

4.象缺陷及处理 103

5.图象畸变及变形 106

第五章 扫描电镜的多功能化 110

第一节 背散射电子检测及成象 110

第二节 阴极荧光检测及成象 114

第三节 吸收电子(试样电流)检测及成象 115

第四节 俄歇电子检测及成象 116

第五节 透射电子检测及成象 120

第六节 电子通道花样(ECP) 122

第七节 特征X射线检测 125

1.波谱法 125

2.能谱法 130

第八节 信号与图象处理 144

1.信号加减运算 144

2.数字图象处理 144

3.у调制 144

4.视频调制 146

5.Y调制 147

6.多种图象表示及不同倍数观察 147

第九节 试样的加热、冷却和拉伸 148

1.加热观察 148

2.低温观察 149

3.拉伸观察 150

第十节 与扫描电镜有关的仪器 152

1.低压扫描电镜 152

2.频闪扫描电镜 152

3.低能损失扫描电镜 153

4.俄歇扫描电镜 154

第六章 试样制备技术 157

第一节 导电材料试样制备 158

第二节 非导电性材料的试样制备 158

1.非金属材料试样制备 158

2.生物医学材料试样制备 161

3.无导电膜非导电性材料试样制备 165

第三节 制样设备实例 167

第七章 应用 171

第一节 在高分子方面的应用 171

1.试样制备 171

2.电镜观察 174

3.应用实例 176

第二节 在催化剂方面的应用 186

1.催化剂表面观察 187

2.催化剂粒度分布测定 188

3.沸石结晶过程观察 192

第三节 在金属材料方面的应用 195

1.断口观察 195

2.铸铁 201

3.事故、故障分析 205

第四节 在石油、地质、矿物方面的应用 207

1.在古生物学方面 207

2.在生油岩方面 209

3.在油气储集层方面 210

第五节 在半导体器件及集成电路方面的应用 211

1.形貌图象法 212

2.电压衬度象法 213

3.电子电动势象法 214

4.电力束感生电流象法 217

第六节 在昆虫学研究中的应用 220

1.试样制备 221

2.应用实例 222

第七节 在生物医学上的应用 224

1.脏器 225

2.关节及滑膜 229

3.皮肤及感觉器官 229

4.游离细胞 234

5.结石 236

主要参考文献 237