光学薄膜技术PDF电子书下载

第一章 薄膜光学特性计算基础 1

1.1单一界面的反射率和透射率 2

1.2单层介质膜的反射率 5

1.3多层介质膜的反射率和透射率 9

1.4金属薄膜的光学特性 11

1.5光学零件的反射率和透射率 12

第二章 介质膜系及其应用 16

2.1减反射膜 16

2.2高反射膜 24

2.3 中性分束膜 30

2.4截止滤光片 33

2.5带通滤光片 58

2.6偏振分束膜 83

2.7消偏振膜系 88

3.1光学真空镀膜机 109

第三章 薄膜制造技术 109

3.2真空与物理汽相沉积 111

3.3真空获得与检测 112

3.4热蒸发 120

3.5溅射 123

3.6离子镀 130

3.7离子辅助镀 134

4.1光学薄膜器件的质量要素 137

第四章 光学薄膜制造工艺 137

4.2影响膜层质量的工艺要素 140

4.3获得精确厚度的方法 148

4.4获得均匀膜层的方法 157

第五章 薄膜材料及其性质 161

5.1薄膜的微观结构与性质 161

5.2常用光学薄膜材料 181

附录常见薄膜材料参数 187

参考文献 194