位置敏感探测器的定位及结构改进研究PDF电子书下载

第1章 位置敏感探测器概述 1

1.1 位置敏感探测器的概述 1

1.2 PSD的研究历史 2

1.3 PSD的应用实例 6

1.4 PSD的多自由度检测 9

第2章 位置敏感探测器理论基础 13

2.1 半导体基础 13

2.2 半导体PN结的光电转换 20

2.3 PSD的等效分析 25

2.4 二维PSD的RC传输线模型 27

2.5 PSD特性参数及其影响因素 29

第3章 幅值法定位检测 35

3.1 光电流的理论解 35

3.2 PSD的幅值定位原理 42

3.3 基于单片PSD的多光束同步检测技术 46

3.4 一维PSD的幅值法定位 48

3.5 二维PSD幅值法定位 49

3.6 幅值法的实验测试 55

第4章 PSD的相位法多光束检测 59

4.1 PSD相位法位置检测的原理 59

4.2 相位法多光束检测 64

4.3 PSD相位法实验测试 74

第5章 增强横向光电效应的机理研究 81

5.1 检测环境对光电流的影响 81

5.2 增强横向光电效应的研究 83

5.3 谐振腔基本原理 88

5.4 横向光电效应增强的机理研究 91

5.5 结构设计 97

5.6 小结 104

第6章 谐振腔增强型PSD的数值验证研究 105

6.1 谐振腔增强型结构的量子效率研究 105

6.2 增强型结构横向光电效应的数值研究 110

参考文献 119