真空系统 基础与应用PDF电子书下载

目录 1

前言 1

主要符号 1

第1章 真空的基本概念 1

1.1 真空、压强、分子密度、蒸汽压 1

1.2 流量 5

1.3 流导、气流 10

参考文献 15

第2章 气体分子运动论 17

2.1 分子速度与速度分布 17

2.2 平均自由程与碰撞频率 20

2.3 碰撞于表面（壁面）的分子数 21

2.4 气体的粘滞性 23

2.5 气体的热传导、适应系数 27

2.7 扩散与热扩散 30

2.6 热流逸、泻流 30

参考文献 32

第3章 真空中的气流（Ⅰ） 33

3.1 分子流（1）——小孔的分子流 33

3.2 分子流区域的条件 34

3.3 分子流（2）——流过圆形管道的分子流 35

3.4 粘滞流——流过圆形管道的粘滞 38

流 38

3.5 克努曾的实验公式 40

3.6 喷流、湍流 41

参考文献 43

第4章 真空中的气流（Ⅱ） 44

4.1 各种形状管道的流导 44

4.2 连结管道、弯管、合成流导 46

4.3 奥特莱传输几率的计算 46

第5章 蒙特卡罗法的应用 52

5.1 Davis的方法 53

5.2 传输几率的计算与实测 59

5.3 应用举例 63

参考文献 68

第6章 真空中的气流（Ⅲ） 69

6.1 低真空区域的气流——低压气流 70

6.2 压缩性——喷嘴及其气流 73

6.3 在有摩擦的导管内的压缩性流动 75

6.4 圆截面导管内稀薄气流——纳维－斯托克斯（Navier-Stokes）方程 76

参考文献 79

第7章 有关排气的二、三实验 80

7.1 各真空区域的不同的排气方法 80

7.2 阿尔玻特的实验——Ⅰ 83

7.3 超高真空——极高真空的排气 86

参考文献 89

第8章 材料的放气 90

8.1 真空装置的放气和材料放气 90

8.2 放气量测量法（Ⅰ）——流量测量法 92

8.3 放气量测量法（Ⅱ）——流导法 97

8.4 放气量测量法（Ⅲ）——压强上升法 104

8.5 各种材料及其放气 107

参考文献 119

第9章 气体分子和固体之间的有关现 120

象（Ⅰ） 120

9.1 物理吸附、吸附平衡、吸附式 121

9.2 凝结系数、平均吸附时间、脱附 127

9.3 物理吸附吸附量的测量 131

参考文献 138

第10章 气体分子和固体之间的有关现 139

象（Ⅱ） 139

10.1 化学吸附、粘附几率 139

10.2 扩散 143

10.3 渗透 144

名词术语（日、英、中）对照表 157