超高真空技术PDF电子书下载

第1章 真空科学技术基础 1

1.1 真空性质 1

1.2 真空的气体动力学模型 2

1.3 气体经真空系统流动 5

1.4 真空系统抽气 9

1.5 真空系统内的气体源 12

1.6 文献 26

第2章 超高真空材料 28

2.1 超高真空材料选择准则 28

2.2 玻璃 29

2.3 金属 47

2.4 陶瓷 59

2.5 其它材料 64

2.6 封接技术 69

2.7 文献 80

第3章 抽气泵 81

3.1 背景 81

3.2 扩散泵 82

3.3 涡轮分子泵 87

3.4 吸附泵 93

3.5 低温冷凝泵 100

3.6 升华泵和吸气剂泵 104

3.7 离子泵 109

3.8 选择抽气泵 110

3.9 文献 121

第4章 总压强测量 122

4.1 引言 122

4.2 电离规 123

4.3 动量传递规 137

4.4 校规 137

4.5 电离真空计 146

4.6 文献 147

第5章 分压强测量 148

5.1 分压强测量的意义 148

5.2 规参量 150

5.3 离子源 152

5.4 静态质谱计 154

5.5 动态质谱计 162

5.6 离子探测 174

5.7 校准和性能 178

5.8 文献 184

第6章 超高真空管路元件 185

6.1 范围 185

6.2 可拆密封 185

6.3 机械运动传递和动密封 189

6.4 阀 192

6.5 其它管路元件 196

6.6 液氮补液器 198

6.7 文献 200

第7章 系统与应用 201

7.1 引言 201

7.2 系统的要求 201

7.3 抽气要考虑的基本因素 202

7.4 系统设计 207

7.5 应用 216

7.6 文献 226

第8章 检漏 227

8.1 基本技术 227

8.2 性能要求 228

8.3 电离规检漏 231

8.4 离子泵检漏 234

8.5 卤素检漏 235

8.6 质谱检漏 236

8.7 文献 239

附录1 真空计量单位换算表 240

附录2 标准大气的成分 241