微纳米加工技术及其应用PDF电子书下载
- 电子书积分:11 积分如何计算积分?
- 作 者:崔铮著
- 出 版 社:北京:高等教育出版社
- 出版年份:2005
- ISBN:7040168804
- 页数:295 页
第1章 绪论 1
1.1微纳米技术与微纳米加工技术 2
1.2微纳米加工技术的分类 3
1.3本书的内容与结构 7
参考文献 10
第2章 光学曝光技术 11
2.1光学曝光方式与原理 13
2.2光学曝光的工艺过程 21
2.3光刻胶的特性 23
2.3.1光刻胶的一般特性 24
2.3.2正型胶与负型胶的比较 27
2.3.3化学放大胶 29
2.3.4特殊光刻胶 29
2.4光学掩模版的设计与制作 30
2.5.1离轴照明技术 34
2.5突破光学曝光分辨率的新技术 34
2.5.2空间滤波技术 35
2.5.3移相掩模技术 36
2.5.4光学邻近效应校正 40
2.6光学曝光技术的极限 43
2.7厚胶曝光技术 44
2.7.1传统光刻胶 45
2.7.2 SU-8光刻胶 47
2.8灰度曝光技术 51
2.9光学曝光的计算机模拟技术 55
2.9.1部分相干光成像理论 55
2.9.2计算机模拟软件COMPARE 59
2.9.3光学曝光质量的比较 63
参考文献 68
第3章 电子束曝光技术 73
3.1电子光学原理 75
3.2电子束曝光系统 80
3.2.1矢量扫描与光栅扫描曝光 83
3.2.2变形束曝光 89
3.2.3投影曝光 89
3.2.4微光柱系统曝光 91
3.3电子束曝光图形的设计与数据格式 93
3.3.1设计中的注意事项 93
3.3.2中间数据格式 95
3.3.3AutoCAD数据格式 97
3.3.4机器数据格式 97
3.4电子束抗蚀剂及其工艺 100
3.4.1高分辨率电子抗蚀剂 100
3.4.2化学放大抗蚀剂 103
3.4.3多层抗蚀剂工艺 108
3.5电子束散射与邻近效应 110
3.5.1电子束在固体材料中的散射 110
3.5.2电子束曝光的邻近效应 115
3.5.3点扩散能量分布的近似 116
3.6电子束曝光邻近效应的校正 118
3.7电子束曝光的计算机模拟 121
3.8电子束曝光的极限分辨率 125
3.8.1电子束曝光系统 125
3.8.2二次电子散射效应 125
3.8.3抗蚀剂工艺 126
参考文献 126
第4章 聚焦离子束加工技术 131
4.1液态金属离子源 132
4.2聚焦离子束系统 135
4.3离子在固体材料中的散射 137
4.4.1离子溅射 140
4.4聚焦离子束加工原理 140
4.4.2离子束辅助沉积 143
4.5聚焦离子束加工技术的应用 144
4.5.1审查与修改集成电路芯片 144
4.5.2修复光刻掩模缺陷 145
4.5.3制作透射电镜样品 149
4.5.4多用途微切割工具 150
4.6聚焦离子束曝光技术 153
4.7聚焦离子束注入技术 155
参考文献 156
第5章 X射线曝光技术 159
5.1 X射线曝光原理 160
5.2 X射线曝光系统 165
5.2.1 X射线源 165
5.2.2 X射线对准式曝光机 168
5.2.3 X射线曝光掩模 169
5.2.4 X射线曝光抗蚀剂 172
5.3超微细结构的X射线曝光技术 172
5.4超深结构的X射线曝光技术(LIGA技术) 174
5.4.1 X射线光源 177
5.4.2 LIGA掩模 177
5.4.3用于LIGA的厚胶及其工艺 179
5.4.4影响LIGA图形精度的因素 182
参考文献 184
第6章 刻蚀技术 187
6.1化学湿法腐蚀技术 188
6.1.1硅的各向异性腐蚀 189
6.1.2硅的各向同性腐蚀 196
6.1.3二氧化硅的各向同性腐蚀 198
6.2干法刻蚀之一:反应离子刻蚀 199
6.3干法刻蚀之二:反应离子深刻蚀 206
6.4干法刻蚀之三:离子溅射刻蚀 211
6.5干法刻蚀之四:反应气体刻蚀 213
6.6干法刻蚀之五:其他物理刻蚀技术 214
6.6.1激光微加工技术 214
6.6.2电火花微加工技术 218
6.6.3喷粉微加工技术 219
参考文献 221
第7章 复制技术 225
7.1纳米压印技术 226
7.2透明模曝光技术 231
7.3软印模技术 233
7.4塑料微成型技术 235
7.4.1热压成型 237
7.4.2注塑成型 238
7.4.3浇铸成型 241
7.5激光三维微成型技术 242
7.6其他图形复制技术 245
7.6.1扫描探针点墨法 246
7.6.2纳米球阵列掩模法 247
7.6.3纳米阴影掩模法 249
参考文献 250
第8章 微纳米加工技术的应用 253
8.1超大规模集成电路技术 254
8.2纳米电子技术 259
8.3光电子技术 262
8.4高密度磁存储技术 265
8.5微机电系统技术 269
8.6生物芯片技术 275
8.7纳米技术 279
参考文献 282
中英文名词对照索引 287
结束语 295
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《现代水泥技术发展与应用论文集》天津水泥工业设计研究院有限公司编 2019
- 《激光加工实训技能指导理实一体化教程 下》王秀军,徐永红主编;刘波,刘克生副主编 2017
- 《异质性条件下技术创新最优市场结构研究 以中国高技术产业为例》千慧雄 2019
- 《Prometheus技术秘笈》百里燊 2019
- 《英汉翻译理论的多维阐释及应用剖析》常瑞娟著 2019
- 《中央财政支持提升专业服务产业发展能力项目水利工程专业课程建设成果 设施农业工程技术》赵英编 2018
- 《药剂学实验操作技术》刘芳,高森主编 2019
- 《林下养蜂技术》罗文华,黄勇,刘佳霖主编 2017
- 《脱硝运行技术1000问》朱国宇编 2019
- 《无所遁形》吕铮著 2019
- 《网络负面口碑对消费者态度的积极影响研究》张洁梅,赫梦莹,孔维铮著 2019
- 《东坡之大同境界》苏喜亮,文镜铮著 2017
- 《盘活》刘法铮著 2013
- 《女给时代:1930年代台湾的珈琲店文化》廖怡铮著 2012
- 《生命的走向》蔡铮著 2013
- 《种子》蔡铮著 2013
- 《晴川诗文集》叶启铮著 2000
- 《现代图象诗中的音乐性》江依铮著 2012
- 《微纳米加工技术及其应用》崔铮著 2009
- 《全国高等中医药行业“十三五”创新教材 中医药学概论》翟华强 2019
- 《培智学校义务教育实验教科书教师教学用书 生活适应 二年级 上》人民教育出版社,课程教材研究所,特殊教育课程教材研究中心编著 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《习近平总书记教育重要论述讲义》本书编写组 2020
- 《办好人民满意的教育 全国教育满意度调查报告》(中国)中国教育科学研究院 2019
- 《高等数学试题与详解》西安电子科技大学高等数学教学团队 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《教育学考研应试宝典》徐影主编 2019
- 《语文教育教学实践探索》陈德收 2018
- 《家庭音乐素养教育》刘畅 2018