200A可控硅整流器元件 平板型 工艺PDF电子书下载

200A可控硅整流元件（平板型）工艺 1

一、硅单晶材料要求 1

二、工艺要求及管芯主要尺寸 2

三、杂质源硅镓粉的配制 2

四、阴极（金—锑—砷—铋合金）片的制作 3

五、石英管及硅片的清洁处理、封管、扩散 4

六、合金烧结 6

七、管芯磨边、腐蚀、保护、测量 7

八、封装 8