材料加工设备概论 太阳电池方向PDF电子书下载

第1章　绪论 1

1.1　太阳设备的发展历史 1

1.1.1　硅切割设备的发展 2

1.1.2　硅电池制备设备的发展 3

1.2　国际太阳电池生产设备发展现状 4

1.2.1 国际太阳电池设备市场现状 4

1.2.2 国际太阳电池设备主要生产区域 4

1.2.3 国际太阳电池设备主要生产厂家 4

1.3　国内太阳电池生产设备发展现状 5

1.3.1 国内太阳电池设备技术现状 5

1.3.2 国内太阳电池设备主要厂家情况 6

1.4　国内太阳电池生产设备与国际差距 6

1.4.1 国产设备相继在生产线应用 6

1.4.2　高端设备仍需进口 7

1.5　太阳能设备的发展趋势及展望 8

1.5.1 未来太阳电池设备技术发展趋势 8

1.5.2　我国太阳电池设备面临的机遇与挑战 8

1.6　太阳电池生产线的总体布局 9

1.7　本教材主要内容及任务 11

第2章　机电设备基础 12

2.1　动力源 12

2.1.1　动力源的类型 12

2.1.2 电动机的分类、性能、特点及适用范围 13

2.1.3 电动机的选择原则 17

2.2　传动装置 17

2.2.1 带传动 18

2.2.2　齿轮传动 18

2.2.3　螺旋传动 20

2.2.4　涡杆传动 20

2.2.5　链传动 21

2.2.6　液压与气压传动 21

2.3　检测与传感装置 23

2.4　自动检测系统的构成及转换原理 23

2.4.1 自动检测系统的构成 23

2.4.2　传感器的转换原理 24

2.5　控制系统 24

2.5.1　控制系统的基本构成 24

2.5.2　控制系统的分类 25

习题 26

第3章　清洗制绒设备 27

3.1　晶体硅表面减反射及其制绒原理 27

3.1.1 晶体硅表面减反射原理 27

3.1.2　晶体硅表面制绒原理 28

3.2　国内外清洗制绒设备的主要生产厂商 30

3.3　晶体硅清洗制绒设备的工艺流程、槽体结构分布及主要结构 31

3.3.1 晶体硅清洗制绒设备的工艺流程和槽体分布 31

3.3.2　晶体硅清洗制绒设备的主要结构 32

3.4　设备操作规程运行应满足的条件 34

3.5　设备维护与保养 34

3.6　清洗制绒设备的技术发展方向 35

习题 35

第4章　扩散制结设备 36

4.1　扩散工艺的原理 36

4.1.1　有关扩散的物理基础 36

4.1.2　磷扩散中的主要化学反应 39

4.2　扩散炉的结构、参数和关键性能 39

4.2.1　扩散炉的结构 40

4.2.2　主要性能指标 42

4.2.3　扩散炉的工作原理 43

4.3　扩散炉的操作过程和安全生产规范 45

4.3.1　设备的操作方法 45

4.3.2　试运行准备 46

4.3.3　常用的扩散工艺 46

4.3.4　注意事项 46

4.3.5　安全生产规范 47

4.4　扩散炉的维护和保养 47

4.4.1　扩散炉的故障维护 47

4.4.2　扩散炉的日常维护与保养 49

4.5　扩散设备的发展方向 49

习题 50

第5章　刻蚀清洗设备 51

5.1　刻蚀技术简介 51

5.1.1　刻蚀的原理 51

5.1.2　刻蚀技术的分类及特点 52

5.1.3　干法刻蚀技术的发展历程 53

5.1.4　四种典型的干法刻蚀技术 54

5.2　典型的刻蚀清洗设备 59

5.2.1 电感耦合（ICP）高密度等离子体刻蚀机 59

5.2.2　M42系列等离子体刻蚀机 62

习题 65

第6章　等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备 66

6.1　概述 66

6.2　PECVD的工作原理和特点 66

6.3　PECVD的结构、主要性能指标和特点 67

6.3.1　PECVD的结构 67

6.3.2　PECVD的性能指标 68

6.3.3　PECVD设备的主要特点 69

6.4　PECVD设备的安装、调试及其制作过程 70

6.4.1　PECVD设备的安装和调试工作 70

6.4.2　设备调试前的检查工作 71

6.4.3　设备的调试 71

6.4.4　PECVD制作工艺步骤 73

6.5　PECVD设备的故障分析和维护保养 73

6.5.1　PECVD设备的故障分析 73

6.5.2　PECVD的维护保养 75

习题 75

第7章　丝网印刷设备 76

7.1　丝网印刷的工作原理 76

7.2　全自动丝和半自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点 78

7.2.1 全自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点 78

7.2.2　半自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点 79

7.3　丝网印刷设备的操作过程和安全规范 80

7.3.1 丝网印刷设备的操作过程 80

7.3.2　丝网印刷设备的安全规范 81

7.4　丝网印刷设备的维护和保养 82

7.5　丝网印刷设备的发展方向 83

习题 83

第8章　电极烧结设备 84

8.1　电极烧结原理 84

8.2　太阳电池烧结工艺 85

8.3　国内外烧结炉设备的主要生产厂商 85

8.4　太阳电池烧结炉的结构及关键性能 86

8.4.1 炉体 86

8.4.2　烘干区 87

8.4.3　烧结区 88

8.4.4　网带传动部分 88

8.5　烧结炉的安装、调试及维护 89

8.5.1　烧结炉的安装 89

8.5.2　烧结炉的调试及运行 90

8.5.3　常见故障分析及排除方法 92

8.5.4　维护及保养 92

习题 93

第9章　测试与分选设备 94

9.1　太阳电池测试原理 94

9.1.1　光电流和光电压 94

9.1.2　太阳电池的等效电路 97

9.1.3　参数的测量及计算 98

9.1.4　I-V曲线拟合 99

9.2　太阳电池的测试 100

9.2.1 太阳辐射的基本特性 100

9.2.2　太阳模拟器 101

9.2.3　单体太阳电池测试 102

9.2.4　太阳电流组件测试和环境试验方法 105

9.2.5　测试太阳电池的注意事项 107

9.3　太阳电池测试设备 108

9.3.1 太阳电池测试系统的组成 108

9.3.2　太阳电池测试仪 109

习题 110

主要参考文献 111

后记 113