固体薄膜材料与制备技术PDF电子书下载
- 电子书积分:8 积分如何计算积分?
- 作 者:宁兆元,江美福,辛煜等编著
- 出 版 社:北京:科学出版社
- 出版年份:2008
- ISBN:9787030212061
- 页数:131 页
第1章 薄膜的特征 1
1.1 薄膜的定义 1
1.2 表面效应 2
1.3 薄膜的结构和缺陷 3
第2章 真空技术基础 8
2.1 真空的基本概念 8
2.2 气体的动力学描述 10
2.3 气体的流动与抽气 12
2.4 真空的获得 15
2.5 真空的测量 20
第3章 等离子体技术基础 23
3.1 等离子体的基本概念 23
3.2 等离子体的分类 25
3.3 低温等离子体的产生 27
第4章 薄膜的物理气相沉积 37
4.1 蒸发沉积 37
4.2 溅射沉积 47
4.3 离子束沉积 54
4.4 脉冲激光沉积 56
第5章 化学气相沉积 58
5.1 热化学气相沉积 58
5.2 等离子体化学气相沉积 59
5.3 高密度等离子体化学气相沉积 61
5.4 其他化学气相沉积 65
第6章 膜厚和沉积速率的测量 68
6.1 光学法 69
6.2 天平法 78
6.3 电学方法 81
6.4 表面粗糙度仪法 82
第7章 低介电常数薄膜材料 84
7.1 低介电常数材料的研究背景 84
7.2 碳基低介电常数薄膜 87
7.3 硅基低介电常数薄膜 90
7.4 SiCOH多孔(超)低介电常数材料的制备与性能 94
第8章 氧化锌薄膜材料 97
8.1 氧化锌薄膜的特性和用途 97
8.2 氧化锌薄膜的制备和光致发光谱 98
第9章 钛酸锶钡铁电多层薄膜 103
9.1 铁电多层薄膜的研究意义 103
9.2 Ba TiO3/Ba0.6Sr0.4TiO3多层薄膜的介电增强效应 104
9.3 界面对BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电学性质的影响 108
9.4 多层膜的铁电性能 111
第10章 硅基颗粒复合发光薄膜 113
10.1 硅基发光材料研究的意义及历史 113
10.2 硅基颗粒复合发光薄膜的制备 115
10.3 Si-SiO2和Ge-SiO2薄膜的光致发光和电致发光特性 116
参考文献 123
- 《催化剂制备过程技术》韩勇责任编辑;(中国)张继光 2019
- 《材料导论》张会主编 2019
- 《材料力学 上》杨在林,杨丽红主编 2011
- 《NiFe2O4基惰性阳极材料的烧结行为及应用性能》杜金晶,王斌著 2019
- 《食品接触材料中成分迁移特性及实践》张双灵著 2018
- 《化学化工材料与新能源》张军丽著 2018
- 《材料力学 第2版》严圣平,马占国 2018
- 《材料成形技术基础》周志明,涂坚,盛旭敏主编 2019
- 《高分子材料》刘瑞雪,高丽君,马丽主编 2018
- 《材料科学与工程基础》赵长生,顾宜主编 2019
- 《市政工程基础》杨岚编著 2009
- 《家畜百宝 猪、牛、羊、鸡的综合利用》山西省商业厅组织技术处编著 1959
- 《《道德经》200句》崇贤书院编著 2018
- 《高级英语阅读与听说教程》刘秀梅编著 2019
- 《计算机网络与通信基础》谢雨飞,田启川编著 2019
- 《看图自学吉他弹唱教程》陈飞编著 2019
- 《法语词汇认知联想记忆法》刘莲编著 2020
- 《培智学校义务教育实验教科书教师教学用书 生活适应 二年级 上》人民教育出版社,课程教材研究所,特殊教育课程教材研究中心编著 2019
- 《国家社科基金项目申报规范 技巧与案例 第3版 2020》文传浩,夏宇编著 2019
- 《流体力学》张扬军,彭杰,诸葛伟林编著 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《《走近科学》精选丛书 中国UFO悬案调查》郭之文 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《中医骨伤科学》赵文海,张俐,温建民著 2017
- 《美国小学分级阅读 二级D 地球科学&物质科学》本书编委会 2016
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《强磁场下的基础科学问题》中国科学院编 2020
- 《小牛顿科学故事馆 进化论的故事》小牛顿科学教育公司编辑团队 2018
- 《小牛顿科学故事馆 医学的故事》小牛顿科学教育公司编辑团队 2018
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019