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单晶硅与多晶硅生产技术问答
刘寄声编著2012 年出版275 页ISBN：9787122132338本书阐述了单晶硅与多晶硅生产的基本原理和主要设备，列举了实际生产技术方面的基础知识，还给出了大量技术实例，论述了单晶硅与多晶硅生产操作方法和安全生产注意事项等。本书所列多是单晶硅与多晶硅生产企业人...
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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
赵晓锋著2009 年出版246 页ISBN：9787811291261本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极（S）和漏极（D）的MOSFET压/磁多功能传感器，在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测，从基本结构设计、工作原理、特性分析等方...
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