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超大规模集成电路：基础·设计·制造工艺
（日）电子信息通信学会组编；岩田穆，角南英夫著；彭军译2008 年出版309 页ISBN：9787030202789本书共分两篇，第一篇为基础设计篇，主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；第二篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷...
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机械基础件基础制造工艺和基础材料系列丛书 机械基础件标准汇编 紧固件产品 上 第2版
本书编写组著2016 年出版691 页ISBN：9787506683296标准作为共同使用和重复使用的规范性文件，是制造产品的依据，是产品质量的保障，因此标准的正确贯彻实施，对提升装备制造业水平至关重要。为更好地配合装备制造业标准和质量提升，中国标准出版社与机械科学研究总院...
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集成电路制造工艺与工程应用
温德通编著2018 年出版241 页ISBN：9787111598305本书以实际应用为出发点，抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍，例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP...
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集成电路芯片制造工艺技术
李可为主编2011 年出版161 页ISBN：7040318008本书主要讲述集成电路芯片制造工艺技术，主要有十三章。内容包括芯片制造工艺概述、氧化技术、扩散技术、光刻技术、刻蚀、离子注入、化学气相淀积、金属化、表面钝化、电学隔离、芯片制造工艺流程、缺陷控制...
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