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微机电系统

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梅涛，伍小平主编2003 年出版198 页ISBN：7502543201
微机电系统技术

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石庚辰编著2002 年出版217 页ISBN：7118025607
普通高等教育电子电气信息类应用型本科系列规划教材模拟电子技术基础

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杨守良，廖长荣，张东主编；包宋建，杨保亮，欧汉文副主编2016 年出版250 页ISBN：7030477866
微机电系统及其相关技术

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章吉良，杨春生等编著1999 年出版156 页ISBN：7313023073
微机电系统封装

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（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X
本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。
微机电系统

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范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305
本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。
微机电系统应用

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（美）MohamedGad-el-Hak编；张海霞等译2009 年出版467 页ISBN：9787111267331
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。
国外经典教材·电子信息电子学：电路分析基础

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（美）DAVID M.BUCHLA THOMAS L.FLOYD著；施惠琼夏琳译2006 年出版422 页ISBN：7302120811
本书全面系统地论述了电子学的基本理论、方法以及实际应用。全书分为直流电路和交流电路两部分，共13章，本书内容涵盖了电子学的基本概念、电路分析理论、直流电路分析、交流电路分析、磁与磁路、电机学以及谐...
微机电系统设计与制造

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莫锦秋等编著2004 年出版177 页ISBN：7502552375
本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
微机电系统力学

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高世桥，刘海鹏著2008 年出版249 页ISBN：7118055662
本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...