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无驱动结构微机械陀螺及其应用
张福学，张伟著2013 年出版424 页ISBN：9787118089059本书共四篇，第1篇共5章，主要介绍无驱动结构转子型振动陀螺仪的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共6章，主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理；MEMS用材料及其制备；标准微电子工艺；硅体的...
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