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磁场辅助超精密光整加工技术
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精密和超精密加工技术 第3版
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精密测量理论与技术基础
孙长库,胡晓东主编;王鹏,钟莹,张福民,徐临燕参编2015 年出版355 页ISBN:9787111514572《精密测量理论与技术》包括精密测量理论和精密测量技术两部分。共分14章,1~6章是测量理论部分,主要介绍测量基本概念、测试系统及其特性、测试信号分析与处理方法、误差和测量不确定度等;7~14章是精密测量技术...
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超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制
陈学东,何学明,叶燚玺著2008 年出版223 页ISBN:9787560946108本书阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。主要内容:超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术;超精密气浮支承的建模...