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半导体器件制造工艺

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夏海良，张安康编1986 年出版175 页ISBN：15119·2469
多重入芯片复杂制造系统生产优化与控制

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钱省三，郭永辉编著2008 年出版209 页ISBN：7121063735
本书是高校博士点基金项目“带回流集成电路晶圆生产线的平衡优化与控制”（项目号：20050252008）和上海市重点学科项目《系统管理》（T0502）的研究成果之一。本书研究思路新颖、研究内容系统强、研究方法有一定创新...
半导体器件制造工艺

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技工学校电子类专业教材编审委员会组织编写1995 年出版145 页ISBN：750451618X
半导体制造技术与管理

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简祯富，施义成，林振铭，陈瑞坤编著2005 年出版690 页ISBN：9572988050
半导体制造工艺基础

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（美）施敏，（美）梅凯瑞著；陈军宁，柯导明，孟坚译2007 年出版284 页ISBN：7811102927
本书是有关半导体制造各工艺步骤。
激光制造技术

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刘顺洪等编著2011 年出版352 页ISBN：9787560969541
本书首先介绍了激光原理和常用激光器和制造系统，使学习者对激光有初步的认识。其次介绍了激光与物质相互作用的物理理论，使学生了解激光制造过程中发生现象的物理本质及理论基础。...
半导体制造工艺

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张渊主编2011 年出版226 页ISBN：9787111318705
本教材的编写简化了深奥的理论论述，在对基本原理介绍的基础上注重了对工艺过程、工艺参数的描述以及工艺参数测量方法等。
半导体致冷-器件制造及某些应用

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2222 年出版211 页ISBN：
半导体器件制造工艺常用数据手册

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刘秀喜1992 年出版0 页ISBN：
半导体器件制造工艺常用数据手册

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刘秀喜，高大江编1992 年出版602 页ISBN：7505316613