微机电系统（MEMS）制造技术

微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...

MEMS电子元器件非线性动力学

本书为唐山学院学术著作出版资助经费资助出版项目。本书结合作者多年科研研究，以阐述MEMS电子元器件非线性动力学的基本概念和研究方法为主，从RLC串联电路、RLC电路与弹性板耦合系统、RLC电路与微梁耦合系统...

国外电子与通信教材系列 MEMS与微系统 设计、制造及纳尺度工程 第2版

作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流...

惯性MEMS器件原理与实践

该书共分9个章节。其中6个章节（包括引言）用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些...

THE PHYSICAL CHEMISTRY OF MEMBRANES AN INTRODUCTION TO THE STRUCTURE AND DYNAMICS OF BIOLOGICAL MEM

非硅MEMS技术及其应用

MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来，二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术，它集微传感器、微执行器、控制电路于一体，涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉，可广泛应用于信息、生物、汽车...

MEMS惯性传感器技术

本书从MEMS惯性传感器的基本概念出发，简单介绍了MEMS惯性传感器的术语定义、分类、功能及作用原理；从研发和技术服务的角度简述了MEMS惯性传感器的敏感极性和参数计算及其调整；给出了公司制造MEMS角速率陀螺的...

MEMS强链及其应用

MEMS强链也称MEMS密码锁，是一种用于高风险系统的高可靠性安全保障的微机电装置，可用于武器装备、弹药库、政府、银行、金融、保密等部门的信息安全"要害系统"，属于光、电、机、信息、微制造等多学科交叉领域。...

工程管理专业硕士学位（MEM）研究生系列教材 研究生创新 工程管理案例集

本书从工程管理的理论体系及实践需求出发，聚焦工程的投资控制、挣值分析、资源配置、进度计划、成本控制、风险管理、现金流优化和多目标集成等核心管理内容，系统地收集、整理、撰写了8个具有代表性的工程管...

MPAcc复试高分指南