聚合物微纳制造技术

本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波...

微光机电系统

本书共由三部分构成。第一部分重点介绍光微机电系统在各领域中的应用，即光开关、镜像陈列、衰减器；显示器、扫描仪；光谱检测化，可变波长光学元件；执行机构可动结构体；传感与传感器等第二部分是光微机电光学，主......

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微纳米制造技术及应用

微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，...

半导体微系统制造技术

本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...

现代制造技术-机电专业英语

本书旨在帮助高等职业技术学校学生以及广大工程技术人员提高在工作实践中科技英语的应用能力。具有内容丰富和实用性强的特点。全书共分为机械基础、加工技术、PLC技术、电机控制技术、液压技术和现代制造...

机电工程训练教程 机械制造技术实训

本书的主要内容包括：概述、机械制造基础知识、铸造、压力加工、焊接与切割、车削加工、铣削及其它切削加工方法、磨削加工、钳工、数控加工、特种加工、计算机辅助设计与制造、机械零件几何量检测、机械制造...

微传感器、微机电系统和灵巧器件 英文影印版

信息、控制与系统技术丛书 微系统设计与制造

本书包括微系统设计基础理论、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS和微流体等内容。本书强调设计与制造相结合，在以基础理论为基础的同时，深入介绍微系统制造工艺和典型器件的制造方法。本书...

机电一体化机械系统设计