等离子

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  等离子体介质电磁特性时域有限差分方法及应用

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  杨利霞等著2015 年出版386 页ISBN：9787030461605

  时域有限差分（FDTD）方法近年以来发展迅速，并获得广泛应用。FDTD方法以Yee元胞为空间电磁场离散单元，将麦克斯韦旋度方程转化为差分方程，结合计算机技术能处理十分复杂的电磁问题，因而在工程电磁学各个领域倍受重...

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  射频等离子体物理学

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  （法）帕斯卡·夏伯特，（英）尼古拉斯·布雷斯韦特著；王友年，徐军，宋远红译2015 年出版321 页ISBN：9787030459190

  针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了...