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硅片
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多晶硅与硅片生产技术
梁宗存,沈辉,史珺等编著2014 年出版204 页ISBN:9787122188694太阳电池可以实现太阳光直接转换为电力,目前晶体硅太阳电池是光伏发电的主流产品。本书首先介绍了硅的物理特性、太阳电池基本结构和标准电池工艺;在介绍多晶硅原料制备原理、硅源化合物材料性能和制备基础上...
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硅片的超精密磨削理论与技术
郭东明,康仁科著2019 年出版240 页ISBN:9787121363009本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质,以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上,全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床,完整地总结了著者及其团...