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SOI CMOS技术及其应用
黄如等编著2005 年出版383 页ISBN:7030159683本书从材料、器件、工艺和电路角度系统地介绍SOICMOS技术。全书共分8章,从SOI材料的主要制备技术以及表征技术开始,详细分析和阐述SOIMOS器件的主要基本特性和物理效应,包括浮体效应、短沟效应、窄沟效应、边...
本书从材料、器件、工艺和电路角度系统地介绍SOICMOS技术。全书共分8章,从SOI材料的主要制备技术以及表征技术开始,详细分析和阐述SOIMOS器件的主要基本特性和物理效应,包括浮体效应、短沟效应、窄沟效应、边...