《可关断可控硅试制小结》目录
目录 3
一 原理与结构 3
1.可关断可控硅开通机构 3
2.关断机构 7
3.主要参数及控制极伏安特性 11
4.结构 12
二 工艺 14
1.工艺流程 14
2.扩散 18
3.光刻 35
4.真空蒸铝 43
5.烧结 45
三 特性分析 49
1.正向耐压 49
2.反向耐压 51
3.高温特性 52
4.正向压降 54
5.影响关断能力的因素 55
四 测量 60
1.耐压测试 60
2.低频测试 61
3.动态测试 66
4.维持电流的测量 70
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