电子工业技术词典 专用工艺设备与净化技术PDF电子书下载

目录 1

专用工艺设备 1

专用工艺设备 1

一、真空设备 1

真空获得设备 1

真空泵 1

机械真空泵 1

油封机械真空泵 1

机械增压泵 2

多室真空泵 2

定片式机械真空泵 2

滑阀式机械真空泵 2

旋片式机械真空泵 2

罗茨真空泵 3

往复真空泵 3

分子真空泵 3

无油机械泵 3

蒸汽流泵 3

扩散泵 3

油扩散泵 3

水蒸汽喷射泵 4

油蒸汽喷射泵 4

扩散喷射泵 4

喷射泵 4

汞扩散泵 4

汞蒸汽喷射泵 4

物理化学泵 5

钛升华泵 5

容积吸气剂泵 5

电离泵 6

吸气离子泵 6

蒸发离子泵 6

弹道式钛泵 6

复合式钛泵 7

溅射离子泵 7

冷凝泵 8

真空计 8

全压强真空计 8

绝对真空计 8

相对真空计 8

膜片真空计 8

U形真空计 8

双金属真空计 9

热敏电阻真空计 9

放电指示管 9

电离真空计 9

热传导真空计 9

电阻真空计 9

热辐射真空计 9

压缩式真空计 9

热偶真空计 9

热阴极电离真空计 10

冷阴极电离真空计 10

放射性电离真空计 10

超高真空计 10

分压强真空计 11

磁偏转型分压计 11

气体分析仪 11

冷磁控超高真空计 11

热磁控超高真空计 11

B-A电离真空计 11

回旋质谱仪 12

四极质谱仪 12

高频火花检漏仪 12

差压检漏仪 12

无油真空系统 13

氦质谱检漏仪 13

真空系统 13

卤素检漏仪 13

氢钯检漏仪 13

机械阱 14

充气阀 14

真空阀 14

真空胶管 14

冷凝阱 14

吸附阱 14

维持泵 14

预抽泵 14

增压泵 14

前级泵 14

主泵 14

半无油真空系统 14

针阀 15

前级管路 15

预抽管路 15

储气罐 15

密封圈 15

真空设备 15

二、电子束、离子束、激光加工设备电子束加工设备 15

激光加工设备 16

离子束加工设备 16

真空镀膜设备 17

真空镀膜 17

真空蒸镀 17

真空蒸发 17

电阻加热蒸镀设备 17

三、真空镀膜设备 17

电子束蒸镀设备 18

环形电子枪 19

e形电子枪 19

L形电子枪 19

激光加热蒸镀设备 20

高频感应加热蒸镀设备 20

电弧放电蒸镀设备 20

溅射设备 21

阴极溅射设备 21

辉光放电溅射设备 22

直流二极溅射设备 22

等离子溅射设备 22

高频溅射设备 22

非对称交流溅射设备 23

偏压溅射设备 23

吸气剂溅射设备 23

反应溅射设备 23

高频辉光放电溅射设备 23

高频等离子溅射设备 23

离子束镀膜设备 24

电子束化学反应镀膜设备 24

无掩模电子束镀膜设备 25

无油超高真空镀膜设备 25

多源连续真空镀膜机 25

四、排气设备 25

排气设备 25

轨道式排气机 26

无油超高真空排气台 26

双真空排气台 26

排气台 26

圆排车 26

排气机 26

五、加热设备 27

加热设备 27

电热设备 27

电阻炉 27

半连续式真空电阻炉 28

卧式真空电阻炉 28

马弗炉 28

井式真空电阻炉 28

钟罩式真空电阻炉 28

真空电阻炉 28

底部送料式真空电阻炉 28

氢气电阻炉 29

井式氢气电阻炉 29

钟罩式氢气电阻炉 29

底部送料式氢气电阻炉 29

卧式氢气电阻炉 29

垂溶炉 29

电弧炉 30

感应炉 30

电子束炉 30

电子束熔炼炉 30

电子束区域熔炼炉 30

六、焊接设备 31

非电热设备 31

焊接设备 31

接触焊接设备 31

微波加热炉 31

等离子炉 31

红外线炉 31

电阻焊接设备 32

点焊机 32

贮能点焊机 32

滚焊机 32

平行缝焊机 32

环形缝焊机 32

对焊机 32

超声焊接机 33

芯片焊接机 33

超声键合机 33

闪焊 33

热压焊接机 33

压焊 33

梁式引线焊接机 34

倒装焊接机 34

非接触焊接设备 34

气焊机 34

电弧焊接机 34

氩弧焊接机 34

等离子氩弧焊接机 34

真空电子束焊接机 35

电子束焊接机 35

等离子电子束焊接机 36

大气电子束焊接机 36

光束焊接机 37

红外线焊接机 37

七、光刻、掺杂设备 37

坐标刻图机 37

自动刻图机 37

激光定位分步重复照相机 38

掩模版比较仪 38

精缩照相机 38

光栅定位分步重复照相机 38

分步重复照相机 38

初缩照相机 38

掩模版复印机 39

甩胶机 39

涂胶设备 39

曝光设备 39

彩色显象管曝光台 40

紫外线投影曝光机 40

自动曝光机 40

紫外线接触曝光机 40

紫外线曝光机 40

紫外线接近曝光机 40

荫罩双面曝光机 41

电子束曝光机 41

电子束制版机 41

电子束布线机 41

电子束投影曝光机 41

选择布线机 42

显影机 42

图形发生器 42

X射线曝光机 42

显影设备 43

腐蚀设备 43

等离子去胶机 43

离子蚀刻机 43

气相外延炉 43

臣式外延炉 43

立式外延炉 44

桶式外延炉 44

分子束外延炉 44

化学气相淀积设备 44

氧化炉 45

扩散炉 45

掺杂设备 45

单管扩散炉 46

多管扩散炉 46

卧式扩散炉 46

离子注入机 46

高频离子源 47

双等离子体离子源 47

电子束掺杂机 48

八、材料、零部件制造设备单晶炉（直拉法） 48

冷阴极潘宁离子源 48

高压晶体生长炉 49

电子束单晶炉 49

切割机 49

刀刃切割机 49

外圆切片机 49

内圆切片机 49

石英晶体切割机 49

研磨机 50

激光划片机 50

划片机 50

激光切片机 50

超声切割机 50

电子束切割机 50

变压器C型铁芯切割机 50

激光切割机 50

抛光机 51

化学机械抛光机 51

球面铣磨机 51

玻璃滴料机 51

玻璃拉管机（卧式） 51

拉丝机 52

自动绕栅机 52

绕丝机 52

电子束管自动吹泡机 52

玻璃压机 52

玻璃管切割机 52

金属陶瓷管栅极制造机 53

切丝机 53

切头机 53

阴极套管收口机 53

炼塑机 53

塑料封装机 53

电容器芯子卷绕机 54

变压器C型铁芯卷绕机 54

切纸切箔机 54

插针成型机 54

编织机 54

自动压片机 54

自动成型压床 54

绕线机 54

插孔成型机 55

管脚制造机 55

自动攻丝铣扁机 55

云母片铆装机 55

环状消气剂压粉机 55

方形消气剂制造机 55

真空浸渍设备 55

质谱仪 56

电子显微镜 56

奥格电子能谱仪 56

九、分析测试设备 56

离子探针 56

电子探针 56

扫描电子显微镜 57

显微镜 57

金相显微镜 58

干涉显微镜 58

中测探针台 58

电液式振动台 59

振动自动控制仪 59

机械式振动台 59

振动测试仪 59

十、例行试验及其它设备 59

振动试验台 59

环境试验设备 59

例行试验设备 59

电动式振动台 59

低温试验箱 60

金刚石模电火花钻孔机 60

老化台 60

低气压试验箱 60

潮湿箱 60

高温试验箱 60

运输试验台 60

摇摆试验台 60

离心加速度试验机 60

冲击试验台 60

去离子水装置 61

振动清洗机 61

自动清洗机 61

芯片分选机 61

金刚石模磨平面机 61

金刚石模电火花扩孔机 61

分片机 61

空气过滤器 62

高效过滤器 62

低效（粗）过滤器 62

中效过滤器 62

室内尘源 62

室外大气尘浓度 62

室外大气尘（室外空气尘） 62

净化技术 62

过滤效率 63

计重效率 63

比色效率 63

计数效率 63

过滤器的穿透率 63

洁净间 63

洁净间标准 63

常规型（紊流型）洁净间 63

垂直层流型洁净间 64

装配式洁净间 64

水平层流型洁净间 64

洁净工作台 65

气闸室 65

空气吹淋室 65

物料吹淋室 65

洁净间内空气的正压 66

正压的控制 66

传递窗 66

粘着垫 66

静电自净器 66

移动式层流空气净化装置 67

防尘服 67

移动式真空吸尘机 67

集中式真空吸尘系统 67

洁净间的监测 68

滤膜法测尘 68

光电尘粒计数器 68

气体净化 68

催化脱氧 69

吸附干燥 69

露点 69

纯水 69