薄膜晶体管物理、工艺与SPICE建模PDF电子书下载
- 电子书积分:9 积分如何计算积分?
- 作 者:雷东著
- 出 版 社:北京:电子工业出版社
- 出版年份:2016
- ISBN:9787121293948
- 页数:154 页
第1章 薄膜晶体管(TFT)用于平板显示 1
1.1 TFT用于液晶平板显示 1
1.1.1 LCD显示技术原理 1
1.1.2 矩阵显示 6
1.1.3 AMLCD显示技术对TFT特性的要求 9
1.2 TFT用于OLED平板显示 11
1.2.1 有机发光二极管(OLED) 11
1.2.2 OLED显示 13
1.2.3 AMOLED显示对TFT特性的要求 15
1.3 TFT的SPICE建模与仿真 16
1.3.1 SPICE仿真与建模 16
1.3.2 TFT的SPICE建模 18
1.3.3 模型的质量验证 24
参考文献 25
第2章 a-Si:H TFT的结构、工艺与器件物理 26
2.1 平板显示用a-Si:H TFT的结构与工艺 26
2.1.1 平板显示用a-Si TFT的常见结构 26
2.1.2 栅极(Gate)金属 27
2.1.3 a-SiNx:H薄膜 27
2.1.4 a-Si:H薄膜 30
2.1.5 n+ a-Si:H薄膜 36
2.1.6 源漏(S/D)极金属 37
2.1.7 钝化层 37
2.2 a-Si:H TFT器件的电学特性 38
2.2.1 栅极(Gate)正向偏置 38
2.2.2 a-Si:H TFT的漏电流 44
参考文献 45
第3章 a-Si:H TFT的SPICE模型 47
3.1 DC模型 47
3.1.1 a-Si:H TFT开启前 47
3.1.2 a-Si:H TFT开启后 53
3.1.3 漏电流区 63
3.1.4 DC温度模型 65
3.2 AC模型 66
参考文献 68
第4章 低温多晶硅(LTPS)TFT的结构、工艺与器件物理 70
4.1 缓冲层以及a-Si层 71
4.1.1 薄膜的沉积 71
4.1.2 去氢 72
4.2 LTPS层 74
4.2.1 准分子激光退火(ELA) 74
4.2.2 LTPS薄膜的表面 77
4.3 LTPS薄膜的电学特性 78
4.3.1 晶界简介 78
4.3.2 晶界势垒 80
4.3.3 载流子的输运 82
4.4 传统的固相结晶技术(SPC) 84
4.5 金属诱导结晶(MIC) 85
4.6 TFT沟道与N-TFT源/漏的形成 86
4.7 栅绝缘(GI)层 87
4.8 p型TFT源/漏与n型TFT LDD的形成 90
4.8.1 轻掺杂漏极(Lightly Doped Drain, LDD) 90
4.8.2 注入离子的活化 91
4.9 层间介质层(Interlayer Dielectric Film, ILD) 92
4.10 信号线(Data line) 92
4.11 LTPS TFT器件的电学性质 93
4.11.1 栅极正向偏置 93
4.11.2 LTPS TFT的漏电流 98
参考文献 99
第5章 LTPSTFT的SPICE模型 102
5.1 DC模型 102
5.1.1 TFT有效开启电压的表达式 102
5.1.2 亚阈值区 107
5.1.3 输出电流 110
5.1.4 迁移率模型 112
5.1.5 漏电流模型 117
5.1.6 Kink效应 122
5.1.7 沟道长度调制效应 125
5.1.8 方程的统一 126
5.1.9 DC温度模型 131
5.2 AC模型 132
参考文献 135
第6章 IGZO TFT的结构、工艺与器件物理 136
6.1 IGZO工艺概述 136
6.2 平板显示用IGZO TFT的结构 137
6.2.1 栅极(Gate)金属 137
6.2.2 栅绝缘层(GI) 138
6.2.3 IGZO薄膜材料 139
6.2.4 刻蚀阻挡层(ESL) 149
6.2.5 S/D金属 150
6.3 IGZO TFT的电学特性 150
6.3.1 栅极正向偏置 150
6.3.2 IGZO TFT的漏电流 152
参考文献 152
- 《新编高中物理竞赛教程习题全解》钟小平主编;钟小平,倪国富,曹海奇编写 2019
- 《数学物理方法与仿真 第3版》杨华军 2020
- 《中学物理奥赛辅导:热学 光学 近代物理学》崔宏滨 2012
- 《长江口物理、化学与生态环境调查图集》于非 2019
- 《大学物理简明教程 下 第2版》施卫主编 2020
- 《慢性呼吸系统疾病物理治疗工作手册》(荷)瑞克·考斯林克(RikGosselink) 2020
- 《医学物理学》洪洋 2020
- 《初中物理知识地图》赵端旭 2017
- 《高等医药院校教材 医学物理学实验指导》(中国)杨晓岚 2019
- 《写给孩子的趣味物理学》(俄)雅科夫·伊西达洛维奇·别莱利曼著 2019
- 《中风偏瘫 脑萎缩 痴呆 最新治疗原则与方法》孙作东著 2004
- 《水面舰艇编队作战运筹分析》谭安胜著 2009
- 《王蒙文集 新版 35 评点《红楼梦》 上》王蒙著 2020
- 《TED说话的力量 世界优秀演讲者的口才秘诀》(坦桑)阿卡什·P.卡里亚著 2019
- 《燕堂夜话》蒋忠和著 2019
- 《经久》静水边著 2019
- 《魔法销售台词》(美)埃尔默·惠勒著 2019
- 《微表情密码》(波)卡西亚·韦佐夫斯基,(波)帕特里克·韦佐夫斯基著 2019
- 《看书琐记与作文秘诀》鲁迅著 2019
- 《酒国》莫言著 2019
- 《电子测量与仪器》人力资源和社会保障部教材办公室组织编写 2009
- 《少儿电子琴入门教程 双色图解版》灌木文化 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《通信电子电路原理及仿真设计》叶建芳 2019
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019
- 《电子应用技术项目教程 第3版》王彰云 2019
- 《中国十大出版家》王震,贺越明著 1991
- 《近代民营出版机构的英语函授教育 以“商务、中华、开明”函授学校为个案 1915年-1946年版》丁伟 2017